公开(公告)号：CN106312795A

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201610481878.0

申请日：2016-06-27

Applicant: 不二越机械工业株式会社 ,  国立大学法人九州大学

Inventor： 宫下忠一 ,  市川大造 ,  濑下清 ,  大坪正德

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/34 ,  B24B57/02 ,  B24B55/00

Abstract: 本发明提供一种研磨装置，其能够防止浆液的雾的飞散。研磨装置(10)具备：保持工件(20)的研磨头(18)；在表面上粘贴有研磨垫(16)的定盘(12)；将研磨用的浆液供给到研磨垫上的浆液供给部(24)；浆液接收件(26)，其沿着定盘的外周设置，接收从研磨垫流下的浆液；以及运动机构，其使研磨头(18)和定盘相对运动，特征在于，研磨装置具备成环状的浆液飞散防止用罩(34)，该浆液飞散防止用罩在与研磨垫的外周部上表面之间隔开间隙而覆盖研磨垫的外周部上表面，并且覆盖浆液接收件的上侧开口部，其中，所述间隙是能够使从浆液供给部供给到研磨垫上的浆液在研磨垫上向外侧流动的间隙。

公开(公告)号：CN105102188A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480013724.8

申请日：2014-02-27

Applicant: 国立大学法人九州大学 ,  富士纺控股株式会社

Inventor： 土肥俊郎 ,  濑下清 ,  高木正孝 ,  柏田太志

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24D13/00 ,  B24B37/22 ,  B24B37/24 ,  B24D11/00

Abstract: 本发明提供一种研磨垫，所述研磨垫具有研磨构件，所述研磨构件具有研磨面，所述研磨构件含有具有膨胀特性的材料。

公开(公告)号：CN105102188B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201480013724.8

申请日：2014-02-27

Applicant: 国立大学法人九州大学 ,  富士纺控股株式会社

Inventor： 土肥俊郎 ,  濑下清 ,  高木正孝 ,  柏田太志

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种研磨垫，所述研磨垫具有研磨构件，所述研磨构件具有研磨面，所述研磨构件含有具有膨胀特性的材料。