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公开(公告)号：CN106064339B
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201610244328.7
申请日：2016-04-19
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Abstract: 提供了一种双面抛光设备和抛光方法，该双面抛光设备能够令人满意地执行高硬度材料的抛光。使上表面板旋转的第一旋转轴具有筒形，竖直地延伸，并且具有固定至其上端的卡箍；使太阳齿轮旋转的第二旋转轴可旋转地插入穿过筒形的第一旋转轴并竖直地延伸，并且具有固定至其上端的小齿轮；太阳齿轮具有筒形并且可旋转地支撑在第一旋转轴的上端部分的外侧，并具有形成在内周部上的内齿和与托架啮合的形成在外周部上的外齿；并且空隙部形成在第一旋转轴的上部处，并且在该空隙部中布置有行星齿轮，该行星齿轮与设置在用于驱动太阳齿轮的第二旋转轴上的小齿轮和太阳齿轮的内齿啮合，并且将第二旋转轴的旋转传递至太阳齿轮。
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公开(公告)号：CN106064339A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610244328.7
申请日：2016-04-19
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Abstract: 提供了一种双面抛光设备和抛光方法，该双面抛光设备能够令人满意地执行高硬度材料的抛光。使上表面板旋转的第一旋转轴具有筒形，竖直地延伸，并且具有固定至其上端的卡箍；使太阳齿轮旋转的第二旋转轴可旋转地插入穿过筒形的第一旋转轴并竖直地延伸，并且具有固定至其上端的小齿轮；太阳齿轮具有筒形并且可旋转地支撑在第一旋转轴的上端部分的外侧，并具有形成在内周部上的内齿和与托架啮合的形成在外周部上的外齿；并且空隙部形成在第一旋转轴的上部处，并且在该空隙部中布置有行星齿轮，该行星齿轮与设置在用于驱动太阳齿轮的第二旋转轴上的小齿轮和太阳齿轮的内齿啮合，并且将第二旋转轴的旋转传递至太阳齿轮。
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公开(公告)号：CN306638443S
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202030733700.8
申请日：2020-12-01
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：半导体抛光装置。
2.本外观设计产品的用途：用于对半导体晶片等进行抛光。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.变化状态1主视图示出了前面板打开的状态；变化状态2主视图、变化状态2右视图、变化状态2立体图示出了顶环降下的状态；参考图1示出了使用多个本外观设计产品进行半导体抛光的情况下的布局。
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