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发明公开
研磨装置和研磨方法审中-实审

公开(公告)号：CN119136947A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202380037787.6

申请日：2023-04-03

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 菅野祐也

IPC: B24B37/00 , B24B1/00 , B24B37/10 , H01L21/304

Abstract: 课题在于，提供考虑工件表面的凹凸分布而对工件表面进行表面改性、提高了短时间内的加工性的研磨装置和研磨方法。作为解决手段，一种研磨装置(10)，其进行工件(W)的研磨，其特征在于，所述研磨装置(10)具有气穴产生射出装置(50)，气穴产生射出装置(50)具有在内部流通第1液流(A)的内筒(54)，内筒(54)具有气穴产生部(54a)，气穴产生射出装置(50)构成为：使第1液流(A)中产生气穴，使第1液流(A)与工件(W)碰撞。

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