公开(公告)号：CN102001036A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201010268504.3

申请日：2010-08-30

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 守屋纪彦 ,  涩谷和孝

IPC: B24B37/04

CPC classification number: B24B37/30

Abstract: 一种研磨装置，其能够提高研磨工件的精度。借助于由第二加压部件产生且被施加到承载件的压力和第一流体室的由供给到第一流体室的流体产生的内压利用弹性片将工件压到研磨布上，以研磨工件。已经被向下供给到第一流体室中的流体在第一流体室中水平地向外流动，与盘状构件的凹部的侧壁碰撞而向上流动，然后流体从流体出口向外排出，由此，流体供给构件跟随弹性片的运动并且保持与弹性片平行，流体供给构件在第一流体室中被定心。

公开(公告)号：CN102001036B

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201010268504.3

申请日：2010-08-30

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 守屋纪彦 ,  涩谷和孝

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/11

CPC classification number: B24B37/30

Abstract: 一种研磨装置，其能够提高研磨工件的精度。借助于由第二加压部件产生且被施加到承载件的压力和第一流体室的由供给到第一流体室的流体产生的内压利用弹性片将工件压到研磨布上，以研磨工件。已经被向下供给到第一流体室中的流体在第一流体室中水平地向外流动，与盘状构件的凹部的侧壁碰撞而向上流动，然后流体从流体出口向外排出，由此，流体供给构件跟随弹性片的运动并且保持与弹性片平行，流体供给构件在第一流体室中被定心。