公开(公告)号：CN1951634B

公开(公告)日：2010-09-08

申请号：CN200610137406.X

申请日：2006-10-16

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 中村由夫 ,  小山晴道

IPC: B24B29/00

CPC classification number: B24B7/17 ,  B24B37/08 ,  B24D9/085

Abstract: 粘结抛光垫的方法能在一舒适的姿势中容易地更换抛光垫。该方法包括以下步骤：将一粘结垫的载体设定在一保持器内，其具有一通孔，一用来压迫抛光垫的滚轮单元固定在其中，使一滚轮单元沿一下抛光板和一上抛光板的径向方向布置；相对地移动上抛光板朝向下抛光板，以用一规定的力将滚轮单元夹紧在下抛光板和上抛光板之间；以相同的速度但以相对的方向转动夹紧滚轮单元的下抛光板和上抛光板；以及用滚轮单元将抛光垫压迫到下抛光板和上抛光板的抛光面上。

公开(公告)号：CN102284910B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201110167588.6

申请日：2011-06-20

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 小山晴道

IPC: B24B53/017 ,  B24B53/12 ,  B24B37/04

CPC classification number: B24B37/08 ,  B24B53/017

Abstract: 研磨垫的修整方法和修整装置。本发明的方法能够稳定研磨速度，减少进行修整操作的次数，提高工作效率，延长研磨垫的寿命。一种通过使用磨石来修整研磨垫的方法，该研磨垫已经用于通过将工件按压到固定于研磨板的研磨垫并且向研磨垫供给研磨液来研磨工件的表面，该方法包括如下步骤：通过向研磨垫供给高压清洗水来清洗研磨垫；通过在进行清洗步骤的同时使修整磨石在研磨垫的径向上沿着研磨垫的表面轮廓移动来修整研磨垫。

公开(公告)号：CN103506935B

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201310239057.2

申请日：2013-06-17

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 两角洋一 ,  小山晴道 ,  粕尾学 ,  和田昌树

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34 ,  H01L21/304

Abstract: 一种工件研磨装置包括：具有顶面的研磨板，研磨布贴附于该顶面，并且研磨板能够在水平面转动；设置于研磨板上方并且能够上下移动和在水平面转动的顶环，顶环能够对位于研磨板和顶环之间的承载板施压，承载板将工件保持在底面，以将工件压在研磨板上；以及设置于顶环的止动件，止动件在研磨位置止挡并保持载置在研磨板上并且通过转动研磨板而移动到顶环的下侧的承载板。

公开(公告)号：CN103506935A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201310239057.2

申请日：2013-06-17

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 两角洋一 ,  小山晴道 ,  粕尾学 ,  和田昌树

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34 ,  H01L21/304

Abstract: 一种工件研磨装置包括：具有顶面的研磨板，研磨布贴附于该顶面，并且研磨板能够在水平面转动；设置于研磨板上方并且能够上下移动和在水平面转动的顶环，顶环能够对位于研磨板和顶环之间的承载板施压，承载板将工件保持在底面，以将工件压在研磨板上；以及设置于顶环的止动件，止动件在研磨位置止挡并保持载置在研磨板上并且通过转动研磨板而移动到顶环的下侧的承载板。

公开(公告)号：CN102284910A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201110167588.6

申请日：2011-06-20

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 小山晴道

IPC: B24B53/12 ,  B24B37/04

CPC classification number: B24B37/08 ,  B24B53/017

Abstract: 研磨垫的修整方法和修整装置。本发明的方法能够稳定研磨速度，减少进行修整操作的次数，提高工作效率，延长研磨垫的寿命。一种通过使用磨石来修整研磨垫的方法，该研磨垫已经用于通过将工件按压到固定于研磨板的研磨垫并且向研磨垫供给研磨液来研磨工件的表面，该方法包括如下步骤：通过向研磨垫供给高压清洗水来清洗研磨垫；通过在进行清洗步骤的同时使修整磨石在研磨垫的径向上沿着研磨垫的表面轮廓移动来修整研磨垫。

公开(公告)号：CN1951634A

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200610137406.X

申请日：2006-10-16

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 中村由夫 ,  小山晴道

IPC: B24B29/00 ,  B24B41/04

CPC classification number: B24B7/17 ,  B24B37/08 ,  B24D9/085

Abstract: 粘结抛光垫的方法能在一舒适的姿势中容易地更换抛光垫。该方法包括以下步骤：将一粘结垫的载体设定在一保持器内，其具有一通孔，一用来压迫抛光垫的滚轮单元固定在其中，使一滚轮单元沿一下抛光板和一上抛光板的径向方向布置；相对地移动上抛光板朝向下抛光板，以用一规定的力将滚轮单元夹紧在下抛光板和上抛光板之间；以相同的速度但以相对的方向转动夹紧滚轮单元的下抛光板和上抛光板；以及用滚轮单元将抛光垫压迫到下抛光板和上抛光板的抛光面上。