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公开(公告)号：CN119446964A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411005066.X
申请日：2024-07-25
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Inventor： 中泽智仁
IPC: H01L21/67
Abstract: 控制装置、控制系统以及存储控制程序的存储介质，能进行考虑了各晶片的状态和各装置的经时变化的数据管理。控制装置(100)按照每个作为对象的晶片对多个半导体晶片生产装置(A)的工作进行控制，具有存储部(10)、指令数据生成部(20)、接收数据生成部(30)及通信部(50)，指令数据生成部将发送目的地地址与工作制程建立对应而生成示出工作前或工作中的一个半导体晶片生产装置的工作条件的指令数据(OD)，接收数据生成部从半导体晶片生产装置经由通信部按照规定的时间间隔获取日志数据(LD)，将日志数据与日志项目的第2步骤依次建立对应而生成示出工作中的一个半导体晶片生产装置的工作状态和晶片的状态中的至少一方的接收数据(D4)。
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