公开(公告)号：CN100534718C

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200510092424.6

申请日：2005-08-12

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 中岛诚 ,  中村由夫 ,  宫下忠一

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/08 ,  B24B41/007

Abstract: 上抛光板向下移动一直到面向下抛光板为止以便抛光工件。上抛光板连同第一弹性件、第二弹性件、外部件和连接件一起在一水平面中旋转。推压外部件或内部件向上的第一压力和推压外部件或内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和排出第一封闭空间中而在第一封闭空间中产生的压力差被调节，以便调节所述上抛光板的第三压力，该第三压力作用在工件上并同时抛光工件。

公开(公告)号：CN1739916A

公开(公告)日：2006-03-01

申请号：CN200510092424.6

申请日：2005-08-12

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 中岛诚 ,  中村由夫 ,  宫下忠一

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/08 ,  B24B41/007

Abstract: 上抛光板向下移动一直到面向下抛光板为止以便抛光工件。上抛光板连同第一弹性件、第二弹性件、外部件和连接件一起在一水平面中旋转。推压外部件或内部件向上的第一压力和推压外部件或内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和排出第一封闭空间中而在第一封闭空间中产生的压力差被调节，以便调节所述上抛光板的第三压力，该第三压力作用在工件上并同时抛光工件。

公开(公告)号：CN1640621A

公开(公告)日：2005-07-20

申请号：CN200510005694.9

申请日：2005-01-14

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 中岛诚

IPC: B24B37/04

CPC classification number: B24B37/08 ,  B24B37/105 ,  B24B47/12

Abstract: 本小型研磨装置能同时研磨工件的两个侧面，并且多个直接驱动(DD)电动机分别驱动下研磨板、内齿轮以及中心齿轮。该研磨装置包括：一上研磨板和一下研磨板；一中心齿轮和一内齿轮；以及设置在两研磨板之间并与两齿轮啮合的一载架。由两研磨板同时研磨载架所保持的工件的两个侧面。DD电动机分别转动下研磨板和齿轮。各DD电动机有一环形输出件。一第一DD电动机的输出件直接连接至可转动地保持下研磨板的一旋转保持件。一第二DD电动机设置在第一DD电动机的下方。贯穿第一DD电动机的一转动轴的一端连接至可转动地保持诸齿轮之一的一旋转保持件，而转动轴的另一端直接连接至第二DD电动机的输出件。