公开(公告)号：CN105234113A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510655745.6

申请日：2015-10-12

Applicant: 上海空间推进研究所

Inventor： 王开厅 ,  王明迪 ,  邵青 ,  陈广其 ,  俞春生 ,  郝绍纮

IPC: B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B3/14 ,  B08B5/02

CPC classification number: B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B3/14 ,  B08B5/02 ,  B08B2203/0217

Abstract: 本发明提供了一种微小尺度盲腔内壁表面净化除垢装置，包括：清洗液供应单元、清洗液回收单元、气体增压单元、清洗执行单元以及机械支撑结构，所述四个单元之间通过管路连接，管路上的阀门控制各个单元之间的通断，且所述四个单元均安装在所述机械支撑结构上；所述清洗液供应单元用于向清洗执行单元提供清洗液；所述清洗液回收单元用于回收清洗剩余的清洗液；所述气体增压单元用于调节输入气体的压力，实现不同力度的清洗；所述清洗执行单元用于实现多种方式的清洗；所述机械支撑结构用于整个装置的固定、定位、安装以及支撑。本发明自动化程度高、使用方便、清洗效率高，可广泛应用于微小仪器内腔的净化除垢。

公开(公告)号：CN105234113B

公开(公告)日：2018-06-22

申请号：CN201510655745.6

申请日：2015-10-12

Applicant: 上海空间推进研究所

Inventor： 王开厅 ,  王明迪 ,  邵青 ,  陈广其 ,  俞春生 ,  郝绍纮

IPC: B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B3/14 ,  B08B5/02

Abstract: 本发明提供了一种微小尺度盲腔内壁表面净化除垢装置，包括：清洗液供应单元、清洗液回收单元、气体增压单元、清洗执行单元以及机械支撑结构，所述四个单元之间通过管路连接，管路上的阀门控制各个单元之间的通断，且所述四个单元均安装在所述机械支撑结构上；所述清洗液供应单元用于向清洗执行单元提供清洗液；所述清洗液回收单元用于回收清洗剩余的清洗液；所述气体增压单元用于调节输入气体的压力，实现不同力度的清洗；所述清洗执行单元用于实现多种方式的清洗；所述机械支撑结构用于整个装置的固定、定位、安装以及支撑。本发明自动化程度高、使用方便、清洗效率高，可广泛应用于微小仪器内腔的净化除垢。