公开(公告)号：CN106835037A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201611153024.6

申请日：2016-12-14

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 李伟 ,  黄纯可 ,  刘平 ,  张柯 ,  马凤仓 ,  刘新宽 ,  陈小红 ,  何代华

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06

CPC classification number: C23C14/352 ,  C23C14/0641

Abstract: 本发明一种高硬度、高弹性模量的多组元氮化物涂层，其化学式为AlCrTiZrNbN，Al、Cr、Ti、Zr、Nb和N元素的原子比分别为8~12%：8~12%：8~12%：8~12%：8~12%：48~52%，涂层的厚度为2～5μm。本发明还提供了上述氮化物涂层的制备方法，先将基体表面作镜面抛光处理，然后经过丙酮、酒精的超声清洗，真空离子清洗后，采用射频反应溅射方法沉积AlCrTiZrNbN层，其中AlCrTiZrNbN多组元氮化物涂层由等原子摩尔比的AlCrTiZrNb合金靶材在(Ar+N2)气氛下制得。本发明的涂层具有高硬度和高弹性模量，可作为新型保护性涂层用于刀具、模具等多种服役场合。