公开(公告)号：CN103255387B

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201310085578.7

申请日：2013-03-16

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 李柏承 ,  黄元申 ,  韩姗 ,  徐邦联 ,  凌进中 ,  王琦 ,  张大伟 ,  陈忠涛

IPC: C23C14/54 ,  C23C14/12 ,  C23C14/14 ,  G02B5/18

Abstract: 一种中阶梯光栅的复制方法，包括以下步骤：a.将母光栅装在真空镀膜机中，通过毛细吸管定标精确控制硅油的用量，在电极上加上硅油和铝丝，将蒸发电极的位置改到真空镀膜机底板中间，确定修正板的形状与位置，安装晶控膜厚监测仪；b.当达到第一真空度时，对母光栅进行镀油；c.油镀好后继续抽真空，当达到第二真空度时，对已镀油母光栅进行镀铝；d.将已镀铝母光栅送入烘箱中保温；e.将胶粘剂去气泡并放到烘箱中预热；f.将处理完成的胶粘剂滴到已镀铝母光栅表面，再将已清洁处理好的光栅毛坯压到胶黏剂上，接着将压块压到光栅毛坯上，并送入烘箱保温；g.移除母光栅和压块，得到中阶梯光栅。

公开(公告)号：CN103255387A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310085578.7

申请日：2013-03-16

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 李柏承 ,  黄元申 ,  韩姗 ,  徐邦联 ,  凌进中 ,  王琦 ,  张大伟 ,  陈忠涛

IPC: C23C14/54 ,  C23C14/12 ,  C23C14/14 ,  G02B5/18

Abstract: 一种中阶梯光栅的复制方法，包括以下步骤：a.将母光栅装在真空镀膜机中，通过毛细吸管定标精确控制硅油的用量，在电极上加上硅油和铝丝，将蒸发电极的位置改到真空镀膜机底板中间，确定修正板的形状与位置，安装晶控膜厚监测仪；b.当达到第一真空度时，对母光栅进行镀油；c.油镀好后继续抽真空，当达到第二真空度时，对已镀油母光栅进行镀铝d. 将已镀铝母光栅送入烘箱中保温；e.将胶粘剂去气泡并放到烘箱中预热；f.将处理完成的胶粘剂滴到已镀铝母光栅表面，再将已清洁处理好的光栅毛坯压到胶黏剂上，接着将压块压到光栅毛坯上，并送入烘箱保温；g.移除母光栅和压块，得到中阶梯光栅。