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公开(公告)号：CN110487173A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910777593.5
申请日：2019-08-22
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种反射式相位正交单频激光干涉测量装置及测量方法,由单频激光源提供线45°偏振光，经起偏器后入射偏振分光棱镜并均匀分束，分束后的P光和S光空间位置平行出射，经1/4波片后分别投射至测量平面镜和参考平面镜返回，再次经过1/4波片后经偏振分光镜合光出射。出射合束光经半透半反镜均匀分束，其透射光经检偏器后由光电探测器接收产生干涉信号VI；其反射光经四分之一波片后再经检波器由光电探测器接收信号产生干涉信号VQ。利用偏振分光棱镜形成空间距离可调的平衡式参考光和测量光，极大抑制环境噪声，提高测量精度；通过调整起偏器的方位角，用于信号处理阶段的非线性误差修正，提高测量精度。
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公开(公告)号：CN110487173B
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201910777593.5
申请日：2019-08-22
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种反射式相位正交单频激光干涉测量装置及测量方法,由单频激光源提供线45°偏振光，经起偏器后入射偏振分光棱镜并均匀分束，分束后的P光和S光空间位置平行出射，经1/4波片后分别投射至测量平面镜和参考平面镜返回，再次经过1/4波片后经偏振分光镜合光出射。出射合束光经半透半反镜均匀分束，其透射光经检偏器后由光电探测器接收产生干涉信号VI；其反射光经四分之一波片后再经检波器由光电探测器接收信号产生干涉信号VQ。利用偏振分光棱镜形成空间距离可调的平衡式参考光和测量光，极大抑制环境噪声，提高测量精度；通过调整起偏器的方位角，用于信号处理阶段的非线性误差修正，提高测量精度。
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公开(公告)号：CN110595393A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910862034.4
申请日：2019-09-12
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明提供了一种基于半波片的滚转角外差干涉测量装置及测量方法，其中，基于半波片的滚转角外差的干涉测量装置包括能产生频率稳定、空间平行、偏振态相同的两束线偏振光的双频激光源及出射光路中的第一分光棱镜，在第一分光棱镜的透射光路上依次设置有第一1/4波片和第一反射镜，在第一分光棱镜的反射光路中依次设置有第二反射镜、光路交换器和第二1/4波片，经第二分光棱镜形成的两个测量光束通过半波片后经角锥棱镜反射再次经过1/2波片，经第一和第二检偏器后分别由第一和第二光电探测器接收，经相位计输出后送往计算机处理。本发明提高了滚转角的测量分辨率且保证了测量系统的抗干扰性能。
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