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公开(公告)号:CN104503071B
公开(公告)日:2017-03-08
申请号:CN201410779091.3
申请日:2014-12-16
Applicant: 上海理工大学
IPC: G02B21/02
Abstract: 本发明提供一种显微镜物镜转换装置,包括:物镜转换器,用于安装复数个显微镜物镜并将特定的显微镜物镜转动至使用位置;压电位移升降台,圆环柱形,上表面可以进行升降运动;安装基座,圆环柱形,上端与压电位移升降台的下表面相连,用于固定和支撑压电位移升降台;连接件,穿过压电位移升降台和安装基座,上部与压电位移升降台的上表面相连,下部和物镜转换器的上端相连,使得压电位移升降台通过连接件来带动物镜转换器进行上下移动;其特征在于,还包括:横向负载消除机构,设置在安装基座和连接件之间,用于抵消物镜转换器产生的横向负载。
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公开(公告)号:CN103983206A
公开(公告)日:2014-08-13
申请号:CN201410199476.2
申请日:2014-05-12
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及干涉显微镜。基于可编程照明的干涉显微镜系统,包括一照明光源、一照明模块;还包括一数字微镜装置,数字微镜装置包含有数字微镜阵列,每个数字微镜设有n°和-n°两个偏转角状态。光线通过TIR棱镜的折反射以2n°入射角度入射到数字微镜装置,接着控制各微反射镜的“开”或者“关”的状态,使光线得到相应的空间调制,然后从数字微镜装置垂直出射;之后通过分光棱镜的反射使光路进入Mirau干涉物镜,在Mirau干涉物镜中经过分束器形成两束光,这两束光分别照射到参考平面和被测平面后反射回来,并且在分束器形成光学干涉;然后被测物的干涉光场从干涉物镜中返回;之后再次通过分光棱镜,经过筒镜后被探测器接收,得到干涉显微镜的干涉图像。
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公开(公告)号:CN104503071A
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN201410779091.3
申请日:2014-12-16
Applicant: 上海理工大学
IPC: G02B21/02
Abstract: 本发明提供一种显微镜物镜转换装置,包括:物镜转换器,用于安装复数个显微镜物镜并将特定的显微镜物镜转动至使用位置;压电位移升降台,圆环柱形,上表面可以进行升降运动;安装基座,圆环柱形,上端与压电位移升降台的下表面相连,用于固定和支撑压电位移升降台;连接件,穿过压电位移升降台和安装基座,上部与压电位移升降台的上表面相连,下部和物镜转换器的上端相连,使得压电位移升降台通过连接件来带动物镜转换器进行上下移动;其特征在于,还包括:横向负载消除机构,设置在安装基座和连接件之间,用于抵消物镜转换器产生的横向负载。
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公开(公告)号:CN103968779A
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201410198264.2
申请日:2014-05-12
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及精密测量技术领域。超分辨三维测量显微镜,包括一干涉显微镜本体,干涉显微镜本体包括一生成准直均匀光线的照明模块,照明模块的出射光朝向一生成不同相位值的正弦结构光的结构光生成器,结构光生成器的出射光朝向一分光棱镜,分光棱镜的反射光朝向一干涉物镜;干涉物镜使由分光棱镜反射的光束在光轴的方向上会聚而照射于被测物,并且使从被测物反射得到的测量光束与从干涉物镜内部得到的参照光束相干涉;被测物的干涉光从干涉物镜中返回后,依次途径分光棱镜、一筒镜、一探测器,干涉光经过筒镜后被探测器接收。本发明通过结构光生成器和软件算法来重建超分辨率的干涉光场图像。
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公开(公告)号:CN104501739B
公开(公告)日:2017-07-11
申请号:CN201410778274.3
申请日:2014-12-16
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明提供一种多模式的干涉共焦显微系统,其特征在于,包括:三个光源,分别为红光光源、绿光光源以及蓝光光源;分色合光器,将光源发出的光组合为一束;准直匀光器,将分色合光器发出的光折射为准直均匀的光线;全反射棱镜,使光线朝预定的方向射出;空间光调制器,对光线进行特定的照明光场调制;控制器,分别控制各个光源和空间光调制器;分光棱镜,使光线朝垂直的方向射出;物镜,将光线照射在被测物表面并收集被测物表面的反射光;筒镜,通过折射使光汇聚于筒镜的焦点;成像探测器,将筒镜汇聚的光形成被测物的表面图像;以及移相器,与物镜相连,用于移动物镜的位置,其中,物镜是Mirau干涉物镜和明场显微物镜中的任意一种。
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公开(公告)号:CN104501739A
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN201410778274.3
申请日:2014-12-16
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明提供一种多模式的干涉共焦显微系统,其特征在于,包括:三个光源,分别为红光光源、绿光光源以及蓝光光源;分色合光器,将光源发出的光组合为一束;准直匀光器,将分色合光器发出的光折射为准直均匀的光线;全反射棱镜,使光线朝预定的方向射出;空间光调制器,对光线进行特定的照明光场调制;控制器,分别控制各个光源和空间光调制器;分光棱镜,使光线朝垂直的方向射出;物镜,将光线照射在被测物表面并收集被测物表面的反射光;筒镜,通过折射使光汇聚于筒镜的焦点;成像探测器,将筒镜汇聚的光形成被测物的表面图像;以及移相器,与物镜相连,用于移动物镜的位置,其中,物镜是Mirau干涉物镜和明场显微物镜中的任意一种。
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