一种检测平面误差系统
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101881607A

    公开(公告)日:2010-11-10

    申请号:CN201010197670.9

    申请日:2010-06-10

    Abstract: 本发明涉及一种检测平面误差系统,白色的光源发出的照明光束穿过照明光学系统,出射的平行光经过半透半反镜和无限远型物镜,聚焦在被检测物体上,被检测物体反射的光进入色差产生系统,不同波长的光对于同一光学系统有不同的焦距,所以也对应着不同的像距,由于共聚焦原理只允许相应波长的光通过狭缝。相应波长的光通过分光光学系统成像在面阵图像传感器特定位置上,图像传感器特定位置上的图像信号送入计算机转换为对应的波长信号。采用共聚焦光路;采用普通白光光源,与其他方法采用单色激光光源相比,更具实用和推广价值;测量精度高,经计算机模拟仿真可达到纳米级别精度;能够实时在线测量粗糙度。

    一种波长识别装置
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201731943U

    公开(公告)日:2011-02-02

    申请号:CN201020222641.9

    申请日:2010-06-10

    Abstract: 本实用新型涉及一种波长识别装置,包括一个分光光学系统和面阵图像传感器,线状物体反射或自身发出的光线按照顺序经过分光光学系统的前置第一透镜、前置第二透镜、前置第三透镜、光楔棱镜、衍射光栅、以及对称后置第一透镜、后置第二透镜、后置第三透镜,最后成像在面阵图像传感器上。所设计的分光光学系统满足波长大小与成像位置是一一对应的线性关系,采用光学结构就可以实现对波长的识别,加工简单;测量精度高,能够准确的识别出波长的大小;能够实时在线测量。

    一种光学虚拟光源的距离测量装置

    公开(公告)号:CN202033026U

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN201120114326.9

    申请日:2011-04-19

    Abstract: 本实用新型涉及一种光学虚拟光源的距离测量装置,球面反射镜为凹面镜,正面朝向光源,且与光源共轴;平面反射镜位于光源与球面反射镜之间,与光源共轴,正面朝向球面反射镜且顺时针旋转45度角;图像传感器位于平面反射镜正下方,感光面朝向平面反射镜且与光源轴向平行,光源成像于图像传感器上。此装置充分利用了测量对象的特点,利用几何光学原理,采用合理的结构,通过对光源虚像再成像的方式,在不破坏原有光路结构的情况下,以主动测量的方式有效的解决了光学虚拟光源的距离测量问题,测量范围广,结构简单,操作方便,容易实现。

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