公开(公告)号：CN106198568A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201510270033.2

申请日：2015-05-24

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 刘昊 ,  周钰颖

IPC: G01N21/958

CPC classification number: G01N21/211 ,  G01B11/0625 ,  G01B11/0675 ,  G01B2290/70 ,  G01N21/21 ,  G01N21/45 ,  G01N21/8422 ,  G01N2201/0633 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/068

Abstract: 本发明提供一种具有透明基底的薄膜的测量装置，依次包括：形成光路连接的光源、准直镜头、滤波器、起偏器、分光元件、物镜、具有透明基底的薄膜，所述具有透明基底的薄膜位于承载台上，所述分光元件依次连接有面阵探测器与处理器，根据透明基底厚度、物镜视场大小、照明视场大小并根据相关计算公式计算出相应直径型号的遮挡光阑来遮挡在小角度范围内受到透明基底反射的干扰光，将剩余区域的反射光形成图像发送至数据处理器，计算出薄膜的相关数据。因此这种装置可根据不同的薄膜来设计不同的遮挡光阑，具有操作简单，测量精准的特点。