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公开(公告)号：CN101212028A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200610148153.6
申请日：2006-12-28
Applicant: 上海广电电子股份有限公司
IPC: H01L51/56 , H01L21/28 , H01L21/3213
Abstract: 一种有机发光显示器基板电极的图形化方法，涉及有机发光显示器技术领域；本发明解决了刻蚀时透明导电氧化物电极刻断的技术问题；该方法步骤如下：首先制作包含透明导电氧化物电极图形及金属电极图形的第一掩膜版；在带有金属的透明导电氧化物电极玻璃上途敷正性光刻胶；用第一掩膜版作为掩膜，进行曝光；显影、烘烤；对金属进行蚀刻；对透明导电氧化物电极进行蚀刻；脱膜；其次制作包含覆盖金属电极区域的图形的第二掩膜版；在基板上途敷正性光刻胶；用第二掩膜版作为掩膜，进行曝光；显影、烘烤；对金属进行蚀刻；脱膜。本发明利用了刻蚀中透明导电氧化物刻蚀液与金属刻蚀液互不作用的特性，避免了现有技术中透明导电氧化物电极的刻断。
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公开(公告)号：CN101212028B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200610148153.6
申请日：2006-12-28
Applicant: 上海广电电子股份有限公司
IPC: H01L51/56 , H01L21/28 , H01L21/3213
Abstract: 一种有机发光显示器基板电极的图形化方法，涉及有机发光显示器技术领域；本发明解决了刻蚀时透明导电氧化物电极刻断的技术问题；该方法步骤如下：首先制作包含透明导电氧化物电极图形及金属电极图形的第一掩膜版；在带有金属的透明导电氧化物电极玻璃上途敷正性光刻胶；用第一掩膜版作为掩膜，进行曝光；显影、烘烤；对金属进行蚀刻；对透明导电氧化物电极进行蚀刻；脱膜；其次制作包含覆盖金属电极区域的图形的第二掩膜版；在基板上途敷正性光刻胶；用第二掩膜版作为掩膜，进行曝光；显影、烘烤；对金属进行蚀刻；脱膜。本发明利用了刻蚀中透明导电氧化物刻蚀液与金属刻蚀液互不作用的特性，避免了现有技术中透明导电氧化物电极的刻断。
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公开(公告)号：CN101221355B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200710171105.3
申请日：2007-11-28
Applicant: 上海广电电子股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种有机电致发光元件制程中光刻掩膜板的清洗方法及装置，涉及电子半导体元器件制造技术领域；所要解决的是清洗光刻掩膜板的降低成本，提高效果的技术问题；该装置由输入端至输出端依次包括中段投片口、清洗单元的第一段、清洗单元的第二段、二流体冲洗单元、淋式超声洗单元、温水洗单元、用于吹干、清洁的风刀单元、去静电单元，所述各单元由传送单元连接；其特征在于，所述清洗单元的第一段使用独立的第一循环纯水系统，所述清洗单元的第二段、二流体冲洗单元、淋式超声洗单元使用第二循环纯水系统，所述温水洗单元使用加热后淋洗并直接排放的纯水系统。本发明的清洗方法及装置具有降低成本，缩短时间，减少操作人员，提高清洗效果的特点。
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公开(公告)号：CN101221355A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200710171105.3
申请日：2007-11-28
Applicant: 上海广电电子股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种有机电致发光元件制程中光刻掩膜板的清洗方法及装置，涉及电子半导体元器件制造技术领域；所要解决的是清洗光刻掩膜板的降低成本，提高效果的技术问题；该装置由输入端至输出端依次包括中段投片口、清洗单元的第一段、清洗单元的第二段、二流体冲洗单元、淋式超声洗单元、温水洗单元、用于吹干、清洁的风刀单元、去静电单元，所述各单元由传送单元连接；其特征在于，所述清洗单元的第一段使用独立的第一循环纯水系统，所述清洗单元的第二段、二流体冲洗单元、淋式超声洗单元使用第二循环纯水系统，所述温水洗单元使用加热后淋洗并直接排放的纯水系统。本发明的清洗方法及装置具有降低成本，缩短时间，减少操作人员，提高清洗效果的特点。
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公开(公告)号：CN200989928Y
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200620049689.8
申请日：2006-12-28
Applicant: 上海广电电子股份有限公司
IPC: G01R31/00 , G01R31/265 , G01J1/00 , G09G3/00
Abstract: 一种有机电致发光器件亮度的测试装置，涉及发光器件的测试技术领域；所要解决的是底发射结构的发光器件测试的技术问题；该测试装置包括一水平摆放的探针台的测量平台，底发射结构的有机电致发光器件固设在测量平台上，测量平台的中间设有一个大于有机电致发光器件的底发光区域的通孔；探针台上的两根探针分别接触有机电致发光器件待测量的像素的底电极和顶电极；一平面反射镜，设于测量平台的正下方并与水平面成45度夹角；一亮度测量仪器，水平放置并对准平面反射镜；使底发射结构的有机电致发光器件发出的光经过平面反射镜的反射后能进入亮度测量仪器。本实用新型实现了底发射结构的有机电致发光器件的亮度测试。
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