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公开(公告)号：CN116067565A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310122970.8
申请日：2023-02-16
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Inventor： 刘贝贝 , 王灿 , 张忠立 , 刘燚 , 蒋厚勇 , 金愿
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种电容薄膜真空规检测装置，该检测装置可分别用比较法和膨胀法对电容薄膜真空规进行校准，被检测的电容薄膜真空规不配备真空仪表；在使用膨胀法进行检测时，通过在膨胀室与校准室之间并联多个气体膨胀管路，可实现多个量程的可选功能。
公开(公告)号：CN219511742U
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202320229308.8
Abstract: 本实用新型涉及一种电容薄膜真空规检测装置，该检测装置可分别用比较法和膨胀法对电容薄膜真空规进行校准，被检测的电容薄膜真空规不配备真空仪表；在使用膨胀法进行检测时，通过在膨胀室与校准室之间并联多个气体膨胀管路，可实现多个量程的可选功能。
