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公开(公告)号：CN1255850C
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN03141806.6
申请日：2003-07-24
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: H01J37/28
Abstract: 本发明涉及一种扫描电子显微镜像散的校正方法。它包括如下步骤：a.选取校正样品，所述的校正样品为样品架上置有基板，基板上镀有测量膜，测量膜上镀有导电层，测量膜为六角紧密排列的单分散相聚苯乙烯标准粒子列阵；b.将校正样品放置在扫描电子显微镜的样品台上；c.开启扫描电子显微镜；d.将扫描电子显微镜的放大倍率调整到≥3000倍，工作距离调整到8～15mm；e.将校正样品的扫描电子显微镜图像调整到正聚焦状态；f.使用扫描电子显微镜的图像消除像散功能，将图像的边缘轮廓调整到清晰状态。本发明解决了以往在未知的被测样品上寻找一块理想的结构来校正系统像散的困难，可使扫描电子显微镜中校正像散的工作变得很方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1523323A
公开(公告)日：2004-08-25
申请号：CN03150837.5
申请日：2003-09-08
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及物质形态分析及计量测试技术领域，尤其是涉及一种具有溯源值、并带有不确定度评估的电子显微镜测量物质长度的方法。它包括如下步骤：a.校准电子显微镜；b.用电子显微镜拍摄被测物质图像；c.测量被测物质图像；d.计算被测物质的长度值L。本发明实现了用电子显微镜测量物质长度、使用有证标准物质来校准与最终图像的放大倍率具有唯一关联的电子显微镜输出图像上的显微标尺对电子显微镜进行有溯源性校准、并使用校准过的电子显微镜来拍摄物质的图像、测量和计算被拍摄物质的长度并可给出物质长度的不确定度评估方法。该方法使得被测量物质的测量值具有溯源性和带有不确定度评估值，改变了目前电子显微镜的测量值没有溯源性和不确定度评估的状态。
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公开(公告)号：CN1474433A
公开(公告)日：2004-02-11
申请号：CN03141806.6
申请日：2003-07-24
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: H01J37/28
Abstract: 本发明涉及显微镜像差校正的技术领域，尤其是涉及一种扫描电子显微镜像散的校正方法。它包括如下步骤：a.选取校正样品；b.将校正样品放置在扫描电子显微镜的样品台上；c.开启扫描电子显微镜；d.将扫描电子显微镜的放大倍率调整到≥3000倍，工作距离调整到8～15mm；e.将校正样品的扫描电子显微镜图像调整到正聚焦状态；f.使用扫描电子显微镜的图像消除像散功能，将图像的边缘轮廓调整到清晰状态。本发明解决了以往在未知的被测样品上寻找一块理想的结构来校正系统像散的困难，可使本技术领域的普通技术人员在扫描电子显微镜中校正像散的工作变得很方便。
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公开(公告)号：CN1255669C
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN03116182.0
申请日：2003-04-04
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种用于校准扫描电子显微镜放大倍率的标准物质及其制作方法。它的基板上镀有测量膜，测量膜上镀有导电层，测量膜为六角紧密排列的单分散相聚苯乙烯标准粒子列阵，样品架上置有基板。a.选取单分散相聚苯乙烯标准粒子水溶液、选取基板；b.清洗基板；c.将单分散相聚苯乙烯标准粒子水溶液滴洒在基板上；d.将基板与水平面呈0°～5°放入净化室中自然干燥；e.基板嵌入样品架；f.用离子溅射仪对吸附在基板上干燥后的单分散相聚苯乙烯标准粒子水溶液镀上导电层，所述的导电层为金层，金层的纯度至少为99%，金层的厚度为5nm～20nm。本发明扩大了扫描电子显微镜的校准范围，能在其校准范围内给出溯源值、并附有给定置信区间的不确定度。
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公开(公告)号：CN1245606C
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN03150837.5
申请日：2003-09-08
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及物质形态分析及计量测试技术领域，尤其是涉及一种具有溯源值、并带有不确定度评估的、根据有证标准物质校准电子显微镜测量物质长度的方法。它包括如下步骤：a.校准电子显微镜；b.用电子显微镜拍摄被测物质图像；c.测量被测物质图像；d.计算被测物质的长度值L。本发明实现了用电子显微镜测量物质长度、使用有证标准物质来校准与最终图像的放大倍率具有唯一关联的电子显微镜输出图像上的显微标尺对电子显微镜进行有溯源性校准、并使用校准过的电子显微镜来拍摄物质的图像、测量和计算被拍摄物质的长度并可给出物质长度的不确定度评估方法。该方法使得被测量物质的测量值具有溯源性和带有不确定度评估值，改变了目前电子显微镜的测量值没有溯源性和不确定度评估的状态。
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公开(公告)号：CN1536345A
公开(公告)日：2004-10-13
申请号：CN03116182.0
申请日：2003-04-04
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01N1/28 , G01N23/225 , H01J37/26
Abstract: 本发明涉及计量测试标准量值传递技术领域，尤其是涉及一种用于校准扫描电子显微镜放大倍率的标准物质及其制作方法。它的基板上镀有测量膜，测量膜上镀有导电层，测量膜为六角紧密排列的单分散相聚苯乙烯标准粒子列阵，a.选取单分散相聚苯乙烯标准粒子水溶液、选取基板；b.清洗基板；c.将单分散相聚苯乙烯标准粒子水溶液滴洒在基板上；d.将基板与水平面呈0°～5°放入净化室中自然干燥。本发明扩大了扫描电子显微镜的校准范围(1000倍～200000倍)，并能在其校准范围内给出溯源值并附有给定置信区间的不确定度，使得扫描电子显微镜在被校准范围内使用中符合ISO9000质量保证体系的要求。
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