一种基于微间隙压力监测的声表面波传感器

    公开(公告)号:CN205785612U

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201620520746.X

    申请日:2016-06-01

    Inventor: 王俊 李媛媛 陈柯

    Abstract: 本实用新型涉及一种基于微间隙压力监测的声表面波传感器,包括两块压电材料基片、两块压电材料垫片和两组叉指换能器,两块压电材料垫片连接两块压电材料基片并形成中空的内腔,两组叉指换能器均设于内腔中,且分别固定于两块压电材料基片上。与现有技术相比,本实用新型中空部分两面呈开放式,工艺加工导线引出线可以保证精确,进而提升测量精度,再者两侧基片均设置传感器电路,可实现两面压测的测量。

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