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实用新型
一种晶圆传输末端执行器失效

公开(公告)号：CN205092232U

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201520858394.4

申请日：2015-10-30

Applicant: 上海工程技术大学

Inventor： 李林博 , 韦进飞 , 陈文尧 , 马宁 , 宋芳

IPC: H01L21/677 , H01L21/687

Abstract: 本实用新型涉及一种晶圆传输末端执行器，包括盘主体(1)，所述的盘主体(1)呈U形状，其U形闭合端带有连接部位，所述的连接部位上设有两个安装定位孔(2)，盘主体的U形开口端带有第一U形臂和第二U形臂，且在第一U形臂和第二U形臂中间设有一端臂，所述的端臂与第一U形臂和第二U形臂平行。与现有技术相比，本实用新型具有工作精确、结构简单、实用方便等优点。

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