公开(公告)号：CN109195299B

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN201811287082.7

申请日：2018-10-31

Applicant: 上海工程技术大学

Inventor： 昌锡江 ,  徐涛 ,  朱登京 ,  王廷亦 ,  方玲

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明涉及一种圆柱表面波等离子体产生装置，包括依次连接的高频电源(1)、阻抗调节单元(2)、能量传输波导(3)、波导转换器(4)和圆柱形开槽波导(5)，所述的圆柱形开槽波导(5)外壁上嵌套有介质管(6)，所述的圆柱形开槽波导(5)上开有多处狭缝，微波在圆柱形开槽波导(5)的内壁面上形成传导电流，该传导电流在狭缝处被狭缝切断并以位移电流的形式穿越狭缝，位移电流在狭缝处形成的电场辐射入介质管(6)方向使得介质管附近的工作气体电离，并在介质管(6)的外壁周围产生等离子体。与现有技术相比，本发明具有产生的高密度等离子体更具均匀、稳定以及活化基团数量更多等优点。

公开(公告)号：CN109195299A

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201811287082.7

申请日：2018-10-31

Applicant: 上海工程技术大学

Inventor： 昌锡江 ,  徐涛 ,  朱登京 ,  王廷亦 ,  方玲

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明涉及一种圆柱表面波等离子体产生装置，包括依次连接的高频电源(1)、阻抗调节单元(2)、能量传输波导(3)、波导转换器(4)和圆柱形开槽波导(5)，所述的圆柱形开槽波导(5)外壁上嵌套有介质管(6)，所述的圆柱形开槽波导(5)上开有多处狭缝，微波在圆柱形开槽波导(5)的内壁面上形成传导电流，该传导电流在狭缝处被狭缝切断并以位移电流的形式穿越狭缝，位移电流在狭缝处形成的电场辐射入介质管(6)方向使得介质管附近的工作气体电离，并在介质管(6)的外壁周围产生等离子体。与现有技术相比，本发明具有产生的高密度等离子体更具均匀、稳定以及活化基团数量更多等优点。