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公开(公告)号:CN101319347A
公开(公告)日:2008-12-10
申请号:CN200810037730.3
申请日:2008-05-20
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种利用飞秒激光在晶体表面诱导出自组织生长微纳米结构的新方法,属飞秒激光应用技术领域。本发明的特点是利用飞秒激光器系统装置来进行对不同晶体利用飞秒激光在其表面诱导出自组织生长长程纳米结构及对该结构的方向取向的控制定。该飞秒激光器系统产生的激光波长为800nm,脉冲宽度为120fs,重复频率为250KHz的飞秒激光,脉冲最大能量为6μJ,光强分布为高斯分布的线偏振光。通过扫描电子显微镜可看到该纳米结构分布在整个激光辐照区域;对于线偏振飞秒激光,还可看到具有周期性结构的纳米光栅。
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公开(公告)号:CN101323053A
公开(公告)日:2008-12-17
申请号:CN200810040629.3
申请日:2008-07-16
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种飞秒激光在微球上精密打孔方法和装置。本方法是利用飞秒激光,用中性滤色片连续调节激光能量,用显微物镜将激光聚焦到微球上,用快门控制飞秒激光个数,用三维精密平台调整微球三维位置,从而实现在不同材料的微球上加工1~100微米的圆孔。本装置是飞秒激光器系统产生的飞秒激光依次经两个反射镜、准直透镜、光阑、准直透镜、中性滤色片、计算机控制的快门、双色反射镜和显微物镜后,聚焦到搁置在计算机控制的三维精密平台上的微球。加工微球上的圆孔,偏差小于5%。
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公开(公告)号:CN101319347B
公开(公告)日:2010-09-15
申请号:CN200810037730.3
申请日:2008-05-20
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种利用飞秒激光在晶体表面诱导出自组织生长微纳米结构的新方法,属飞秒激光应用技术领域。本发明的特点是利用飞秒激光器系统装置来进行对不同晶体利用飞秒激光在其表面诱导出自组织生长长程纳米结构及对该结构的方向取向的控制定。该飞秒激光器系统产生的激光波长为800nm,脉冲宽度为120fs,重复频率为250KHz的飞秒激光,脉冲最大能量为6μJ,光强分布为高斯分布的线偏振光。通过扫描电子显微镜可看到该纳米结构分布在整个激光辐照区域;对于线偏振飞秒激光,还可看到具有周期性结构的纳米光栅。
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