公开(公告)号：CN106381477B

公开(公告)日：2019-02-01

申请号：CN201611007492.2

申请日：2016-11-16

Applicant: 上海大学

Inventor： 杨光 ,  茅潇潇 ,  陈宏飞 ,  刘斌 ,  罗宏杰 ,  高彦峰

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/40 ,  C23C16/52 ,  C30B25/16 ,  C30B29/22

Abstract: 本发明公开了一种具有柱状晶的锆酸镧薄膜的制备方法及装置。采用镧的有机盐和锆的有机盐作为LCVD的前驱体；所得混合前驱体在原料罐中，于335℃～355℃；并在预热至360℃的管道内将其由Ar气体运载至CVD腔体内；同时O2通过另一个独立的管路到达CVD腔体内，并与前驱体一起在腔内的喷嘴出口处混合；接着气体混合后以一定的流速喷向基片，此基片已经有一定的预热温度外加波长976 nm的连续激光辐照；最后混合气体在基片表面处遇高温反应，得到LZ沉积在基片上。本发明提供了一种具有柱状晶LZ薄膜的LCVD制备方法，该方法可以以较快的速度、工艺简单、较低的设备成本制备出高质量的柱状晶LZ薄膜，制备出薄膜具有镀膜效率高，镀膜纯度高，膜厚均匀等明显的优点。

公开(公告)号：CN106381477A

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：CN201611007492.2

申请日：2016-11-16

Applicant: 上海大学

Inventor： 杨光 ,  茅潇潇 ,  陈宏飞 ,  刘斌 ,  罗宏杰 ,  高彦峰

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/40 ,  C23C16/52 ,  C30B25/16 ,  C30B29/22

CPC classification number: C23C16/44 ,  C23C16/40 ,  C23C16/52 ,  C30B25/165 ,  C30B29/22

Abstract: 本发明公开了一种具有柱状晶的锆酸镧薄膜的制备方法及装置。采用镧的有机盐和锆的有机盐作为LCVD的前驱体；所得混合前驱体在原料罐中，于335℃～355℃；并在预热至360℃的管道内将其由Ar气体运载至CVD腔体内；同时O2通过另一个独立的管路到达CVD腔体内，并与前驱体一起在腔内的喷嘴出口处混合；接着气体混合后以一定的流速喷向基片，此基片已经有一定的预热温度外加波长976 nm的连续激光辐照；最后混合气体在基片表面处遇高温反应，得到LZ沉积在基片上。本发明提供了一种具有柱状晶LZ薄膜的LCVD制备方法，该方法可以以较快的速度、工艺简单、较低的设备成本制备出高质量的柱状晶LZ薄膜，制备出薄膜具有镀膜效率高，镀膜纯度高，膜厚均匀等明显的优点。