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公开(公告)号:CN113236612A
公开(公告)日:2021-08-10
申请号:CN202110518181.7
申请日:2021-05-12
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种可调控加热功率的真空油扩散泵,包括扩散泵与扩散泵相连接的高功率瓷管可调绕线电阻装置,瓷管可调绕线电阻装置包括变压调节器、立式波纹绕制电阻、表面涂敷绝缘树脂漆、固定元件、接线端子;将所述瓷管可调绕线电阻装置与扩散泵加热元件相连接。本发明的目的在于提供了一种可调控功率的真空扩散泵。设计实用、新颖,增加了高功率瓷管可调绕线电阻外部装置,可实现扩散泵的快速启动,正常工作、高真空状态三档工作状态,能够根据实际情况控制加热元件的加热功率,提高真空油扩散泵的抽气效率以及极限真空度,操作简单,实用性强,利用推广。