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公开(公告)号：CN104330050B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201410614760.1
申请日：2014-11-05
Applicant: 上海大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开一种大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法，装置包含数控机箱、主控计算机、被测件移动调整平台、动态干涉仪、干涉仪升降台、测量计算机。被测元件放置于被测件移动调整平台上，动态干涉仪安装在干涉仪升降台上，干涉仪升降台和被测件移动调整平台通过电缆与数控机箱连接，主控计算机与数控机箱通过信号线连接，与测量计算机通过网线连接。利用该装置可以通过测量子孔径区域拼接得到被测件全部面形，拼接测量主控软件集控制、测量、拼接计算于一体，易于操作。本发明采用动态干涉测量，降低了对测量环境的要求，可以在车间等非隔振条件下应用；采用干涉拼接技术扩大了测量范围；采用高精度移动调整平台精简了调整次数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104330050A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410614760.1
申请日：2014-11-05
Applicant: 上海大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开一种大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法，装置包含数控机箱、主控计算机、被测件移动调整平台、动态干涉仪、干涉仪升降台、测量计算机。被测元件放置于被测件移动调整平台上，动态干涉仪安装在干涉仪升降台上，干涉仪升降台和被测件移动调整平台通过电缆与数控机箱连接，主控计算机与数控机箱通过信号线连接，与测量计算机通过网线连接。利用该装置可以通过测量子孔径区域拼接得到被测件全部面形，拼接测量主控软件集控制、测量、拼接计算于一体，易于操作。本发明采用动态干涉测量，降低了对测量环境的要求，可以在车间等非隔振条件下应用；采用干涉拼接技术扩大了测量范围；采用高精度移动调整平台精简了调整次数。
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公开(公告)号：CN103245308A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310134419.1
申请日：2013-04-18
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开一种超精密磨削大口径光学元件平面度在位检测装置及方法，包含计算机、动态干涉仪、主测量台架、x方向导轨、z方向导轨、台架导轨、隔离装置。本发明将大口径光学元件平面度误差的检测装置与磨床相结合，实现光学元件在位检测，极大地提高加工效率，最大限度减少被测元件搬运中的引入误差。检测装置与超精密磨床采用分离式结构，不仅可以避免检测装置的精度受磨床工作振动的影响，还可以使检测装置单独使用，作为一种大口径光学元件平面度在位检测的通用设备。检测方法采用干涉拼接技术，利用本装置中动态干涉仪的高精度三维移动实现子孔径测量，扩大可检测元件的尺寸范围，有效抑制车间的环境误差，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN104330051B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201410614996.5
申请日：2014-11-05
Applicant: 上海大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开一种大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法，包含数控机箱、主控计算机、测量龙门架、动态干涉仪、干涉仪精调机构、工作平台、气浮导轨。动态干涉仪安装在干涉仪精调机构上，干涉仪精调机构安装于测量龙门架的横梁上，测量龙门架置于气浮导轨上，测量龙门架和干涉仪精调机构通过电缆与数控机箱连接，主控计算机与数控机箱、动态干涉仪通过信号线连接，主控计算机安装有测量主控软件、动态干涉仪测量软件及全局波面拟合评价软件。该装置可以对子孔径数据全局波面拟合获得大口径被测面的中低频面形，降低了干涉测量对环境的敏感性，降低了对测量系统几何精度的要求，设备集成度高，检测效率高，可扩展至车间环境下测量。
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公开(公告)号：CN103245308B
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201310134419.1
申请日：2013-04-18
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开一种超精密磨削大口径光学元件平面度在位检测装置及方法，包含计算机、动态干涉仪、主测量台架、x方向导轨、z方向导轨、台架导轨、隔离装置。本发明将大口径光学元件平面度误差的检测装置与磨床相结合，实现光学元件在位检测，极大地提高加工效率，最大限度减少被测元件搬运中的引入误差。检测装置与超精密磨床采用分离式结构，不仅可以避免检测装置的精度受磨床工作振动的影响，还可以使检测装置单独使用，作为一种大口径光学元件平面度在位检测的通用设备。检测方法采用干涉拼接技术，利用本装置中动态干涉仪的高精度三维移动实现子孔径测量，扩大可检测元件的尺寸范围，有效抑制车间的环境误差，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN104330051A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410614996.5
申请日：2014-11-05
Applicant: 上海大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开一种大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法，包含数控机箱、主控计算机、测量龙门架、动态干涉仪、干涉仪精调机构、工作平台、气浮导轨。动态干涉仪安装在干涉仪精调机构上，干涉仪精调机构安装于测量龙门架的横梁上，测量龙门架置于气浮导轨上，测量龙门架和干涉仪精调机构通过电缆与数控机箱连接，主控计算机与数控机箱、动态干涉仪通过信号线连接，主控计算机安装有测量主控软件、动态干涉仪测量软件及全局波面拟合评价软件。该装置可以对子孔径数据全局波面拟合获得大口径被测面的中低频面形，降低了干涉测量对环境的敏感性，降低了对测量系统几何精度的要求，设备集成度高，检测效率高，可扩展至车间环境下测量。
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