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公开(公告)号:CN119277861A
公开(公告)日:2025-01-07
申请号:CN202411397332.8
申请日:2024-10-09
Applicant: 上海大学
IPC: H10H20/01 , H10H20/857 , H01L21/48
Abstract: 本发明公开一种基于非对称结构制备Micro‑LED显示器件的低温混合键合方法,涉及显示器件技术领域。所述方法通过非对称结构设计,结合低温条件下的混合键合技术,实现了Micro‑LED芯片与基板或其他组件之间的精确对准与高效连接,降低了Micro‑LED器件中因各组件材料的不同热膨胀系数和杨氏模量会导致Micro‑LED在工作过程中所产生较大的热应力和变形。