压电电机直线定位方法及装置

    公开(公告)号:CN102013833A

    公开(公告)日:2011-04-13

    申请号:CN201010606637.7

    申请日:2010-12-27

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种压电电机直线定位方法及装置。它采用压电电机推动滑台实现工作部件直线运动,压电电机分辨率高,但每步位移不确定,只能保证在数十纳米之内,导致压电电机直线定位不准确。本发明采用旋转编码器检测压电电机的自身丝杠轴实际旋转角度,利用旋转编码器反馈信号控制压电电机的运动,实现压电电机的精确直线定位。本发明建立了一种用于压电电机直线定位的方法及装置,装置结构简单,适用范围广,控制容易,定位精确,提高了压电电机的定位精度,扩大了压电电机的应用范围。

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