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公开(公告)号：CN105845567A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610210210.2
申请日：2016-04-07
Applicant: 上海大学
IPC: H01L21/329
CPC classification number: H01L29/66143
Abstract: 本发明公开了一种利用物理方法制备纳米肖特基结构的工艺，基于煮沸胶体微滴的技术制备分散均匀，尺寸一致的纳米肖特基结的新方法。发明选择合适的基底，通过煮沸胶体溶液来制备纳米肖特基结。在制备过程中，不但可以选择不同材料的胶体溶液，同种材料还可以选择不同浓度和不同尺寸的胶体溶液。本发明方法与现有技术的其他制备纳米肖特基结构的方法相比更能得到尺寸一致、分散均匀的纳米颗粒，而且操作简单易行。此方法可控性好，重复性高，因此可以制备丰富的纳米结构材料。
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公开(公告)号：CN104020207A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410285080.X
申请日：2014-06-24
Applicant: 上海大学
IPC: G01N27/403
Abstract: 本发明涉及一种薄膜芯片气体传感器及其制备方法。本发明的芯片包括一块衬底材料，在该衬底材料的表面首先镀上底电极，再镀半导体材料薄层，再镀有无序性贵金属膜系，最后镀上点电极，将整个结构置于一个单开口的封闭的盒子，当气体通过封闭盒子，在贵金属系作为催化剂的作用下，气体在金属表面发生催化反应，放出的能量传递给金属中的电子，金属中具有高能量的电子跃迁经过金属和半导体的界面形成电流，利用检测电流信号的大小以及相对变化来实现某种气体以及含量的检测。本发明的薄膜气体传感器的最大优点是具有灵敏度高，响应快，选择性好，结构简单，寿命长等优点，并且能够针对任何气体进行设计。弥补了传统气体传感器性能不能兼顾的缺点。
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公开(公告)号：CN103596304A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310547230.5
申请日：2013-11-07
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供了一种嵌入式自测温微热台及其制备方法。微热台的结构从上到下依次为：上绝缘层、电阻丝填埋层、下绝缘层和具有绝热槽的硅支撑框架。使用本发明中提出的填埋工艺将特定图案的电阻丝填埋进已刻蚀的氧化硅沟槽中，通过控制沟槽深度和电阻丝厚度一致，最终得到表面平整的微型热台。微型热台的背部硅基底被腐蚀，形成绝热槽，极大的减小了热量损失。使用本发明中提出的电阻丝分布方式，使得热台具有高度的热均匀性。在微型热台中植入测温电阻，使热台具有自测温功能，也实现了外部测试装置的简化。
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公开(公告)号：CN106449165A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610758219.7
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种利用自生长法制备微型超级电容器的方法，通过图形化金属催化剂，在特定的溶液中原位催化自生长制备电极材料，经过后续的封装工艺之后能够得到一种性能优异，且能够保持性能稳定性的储能器件。本发明制备简单、条件温和、工艺参数简单、成本低廉。这种自生长法制备的高性能超级电容器符合了未来微电子器件的发展趋势，能够广泛应用于微型储能器件、传感器和柔性电子器件等技术领域，具有非常可观的应用前景。
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公开(公告)号：CN104034752A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410267294.4
申请日：2014-06-16
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种测量薄膜纵向热导率的方法。本装置包括锁相放大器，电流源函数发生器，差分放大器，可调电阻器，金属线，热电模块，直流稳压源。本方法为可克服因长度、宽度带来的测量误差的一种更加精确的3ω法测量薄膜纵向热导率的方法。本发明通过沉积不同宽度、长度的金属线，进行多次不同宽度、长度测量，克服因长度、宽度带来的测量误差，同时可以测试不同导电性能的薄膜材料。本测试方法基于差分3ω法原理，操作方便，响应快，测量精度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103954649A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410162669.0
申请日：2014-04-22
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种多功能微型控温装置，由微加工工艺制造的自测温微热台、微型半导体制冷片、智能控温仪、计算机和数据采集仪组成，所述自测温微热台与微型半导体制冷片上下层叠紧密相连，所述自测温微热台包括上绝缘层、电阻丝和多对电极，所述电阻丝包括加热电阻丝和测温电阻丝，所述加热电阻丝和微型半导体制冷片分别通过导线与智能控温仪相连，所述测温电阻丝通过导线与数据采集仪及计算机相连。本发明功能多，精确度好，操作方便，可克服测试操作空间小的限制，避免对材料表面结构造成破坏。
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公开(公告)号：CN102922890A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210390849.5
申请日：2012-10-16
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种纳米金属材料沉积制备图案化器件的快速成型方法，包括如下步骤：将目标金属化合物溶于离子水，形成前驱体溶液；将还原剂也溶于去离子水形成还原剂溶液；分别用过滤器过滤前驱体溶液和还原剂溶液，得到墨水（a、b）；将墨水（a、b）分别注入微滴喷射系统不同的贮液器中；将打印衬底材料加热并保温，控制微滴喷射系统，使墨水（a）沉积在打印衬底材料的指定位置上，然后再在衬底上的墨水（a）的墨迹上打印墨水（b），墨水之间进行化学反应，析出目标金属材料的纳米颗粒，即形成图案化的纳米金属材料器件。本发明实现了金、银纳米颗粒的原位合成和图案化，缩短金、银纳米颗粒制备周期，与MEMS工艺兼容，制备简单，成本低。
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公开(公告)号：CN103956274A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410162671.8
申请日：2014-04-22
Applicant: 上海大学
CPC classification number: Y02E60/13
Abstract: 本发明公开了一种超级电容器复合电极的制备方法。通过合适的沉积方法在纳米多孔金属骨架上生长出纳米级金属氧化物，并经过后续处理得到电容性能优异、适用于超级电容器等储能器件的电极材料。本发明制备简单、条件温和、工艺参数简单、成本较低。本发明所制备出的用于超级电容器的电极材料具有很大的比电容。这种高性能的复合电极能够广泛应用于微型储能器件、传感器和柔性电子器件等技术领域，适应未来储能器件的发展趋势，具有非常可观的应用前景。
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公开(公告)号：CN102914560A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210390517.7
申请日：2012-10-16
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种测量薄膜热电性能参数的装置和方法，本装置主体包括有：测温电阻、热沉、电流源、载物台、数据采集装置、计算机、控温箱、电压表；待测样品固定在载物台上；待测样品的一条边连接一个热沉，另外三条边分别连接一个测温电阻；利用电流源控制测量装置所需的电流，并利用数据采集装置实时监测记录薄膜热电材料的各项性能参数。本发明的优点在于能够利用同一套装置同时测量不同形状薄膜热电材料的热导系数、塞贝克系数、电导系数以及热电优值，并把测量得到的热电优值和公式计算值进行比较；测量全程采用四线制，基本没有接触电阻的影响。本装置和方法原理简单，操作方便，体积小巧，测试功能多，测量精度高。
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公开(公告)号：CN105845567B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201610210210.2
申请日：2016-04-07
Applicant: 上海大学
IPC: H01L21/329
Abstract: 本发明公开了一种利用物理方法制备纳米肖特基结构的工艺，基于煮沸胶体微滴的技术制备分散均匀，尺寸一致的纳米肖特基结的新方法。发明选择合适的基底，通过煮沸胶体溶液来制备纳米肖特基结。在制备过程中，不但可以选择不同材料的胶体溶液，同种材料还可以选择不同浓度和不同尺寸的胶体溶液。本发明方法与现有技术的其他制备纳米肖特基结构的方法相比更能得到尺寸一致、分散均匀的纳米颗粒，而且操作简单易行。此方法可控性好，重复性高，因此可以制备丰富的纳米结构材料。
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