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公开(公告)号：CN119198235A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411256221.5
申请日：2024-09-09
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明属于陶瓷材料的微纳器件制备领域，具体为一种陶瓷材料微纳部件的测试样品及其制备方法，适用于面向陶瓷及半导体材料微纳米器件的高效加工与开发应用。其中，陶瓷材料微纳部件的测试样品包括：成型于同一陶瓷材料上的测试梁、基座和连接部；所述测试梁通过所述连接部支撑在所述基座上，所述连接部连接于所述测试梁的至少一端。采用本发明的技术方案，可高效制备大尺寸、高精度的陶瓷材料及半导体材料微纳部件。所得微纳部件样品可用于原位扫描电镜力学性能表征和显微结构观察。
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