公开(公告)号：CN105806531A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201610141655.X

申请日：2016-03-14

Applicant: 上海大学

Inventor： 张建华 ,  帅红俊 ,  殷录桥 ,  李意

IPC: G01L5/00 ,  G01B11/255

CPC classification number: G01L5/0047 ,  G01B11/255

Abstract: 本发明提供一种柔性透明基底上薄膜残余应力的测量仪，其包括光学平台、第一支撑杆、光路系统、激光光源系统、样品支撑系统、光斑跟踪三维运动系统；所述激光光源系统和光路系统固定于第一支撑杆上，所述第一支撑杆固定于光学平台上，所述光斑跟踪三维运动系统和样品支撑系统分别位于光学平台的两侧边缘。本发明可对柔性透明且曲率半径较小的衬底上薄膜应力进行测量，利用单束光光杠杆法准确测得曲率半径，其先对激光源进行聚焦处理来提高光斑单位面积功率，利用三点定位法固定样品保证长膜前后相对初始位置一致，利用光斑跟踪系统大幅增加光斑偏移的可测范围，最后利用修正的Stoney公式得到薄膜残余应力。

公开(公告)号：CN105806531B

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201610141655.X

申请日：2016-03-14

Applicant: 上海大学

Inventor： 张建华 ,  帅红俊 ,  殷录桥 ,  李意

IPC: G01L5/00 ,  G01B11/255

Abstract: 本发明提供一种柔性透明基底上薄膜残余应力的测量仪，其包括光学平台、第一支撑杆、光路系统、激光光源系统、样品支撑系统、光斑跟踪三维运动系统；所述激光光源系统和光路系统固定于第一支撑杆上，所述第一支撑杆固定于光学平台上，所述光斑跟踪三维运动系统和样品支撑系统分别位于光学平台的两侧边缘。本发明可对柔性透明且曲率半径较小的衬底上薄膜应力进行测量，利用单束光光杠杆法准确测得曲率半径，其先对激光源进行聚焦处理来提高光斑单位面积功率，利用三点定位法固定样品保证长膜前后相对初始位置一致，利用光斑跟踪系统大幅增加光斑偏移的可测范围，最后利用修正的Stoney公式得到薄膜残余应力。