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公开(公告)号：CN111430278A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN202010358864.6
申请日：2020-04-29
Applicant: 上海大学
Abstract: 本申请涉及蓝宝石刻蚀技术领域，公开了一种用于蓝宝石湿法刻蚀的装置和方法，包括：刻蚀腔和水蒸气发生腔，所述刻蚀腔与所述水蒸汽发生腔之间由导管连接；所述刻蚀腔内设有用于放置蓝宝石的衬底支架；往所述刻蚀腔内加入刻蚀溶液后，所述刻蚀溶液没过所述导管的水蒸气出口端和所述蓝宝石；所述水蒸气发生腔经第一加热装置加热后，使其内部的水沸腾产生水蒸汽，所述水蒸汽通过所述导管导入所述刻蚀腔内的刻蚀溶液中，第二加热装置对所述刻蚀腔加热。通过在浓硫酸刻蚀液中持续通入水蒸汽，使得浓硫酸刻蚀液中的水分子实际含量远高于刻蚀温度下的平衡值，大幅提升刻蚀产物在刻蚀液中的溶解度，保证刻蚀行为的均匀稳定性。
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