公开(公告)号：CN118603283A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410639881.5

申请日：2024-05-22

Applicant: 上海大学

Inventor： 张小贝 ,  陈宁 ,  张琦 ,  马俊龙 ,  但德春 ,  邓传鲁 ,  黄怿 ,  王廷云

IPC: G01H9/00 ,  G01D5/353

Abstract: 本发明提供了一种双膜结构全石英光纤声压传感器及其制作方法，该双膜结构原理为法布里珀罗干涉，传感器结构由单模光纤、柚子型光纤构成，通过柚子型光纤和单模光纤进行放电熔接形成单模‑柚子‑单模结构的法布里珀罗干涉仪，通过研磨机对一端单模光纤进行研磨，使形成厚度在微米量级的平整圆膜片，后通过飞秒激光减材加工工艺制备波纹膜片，并在柚子型光纤上微加工出微孔阵列结构，使氢氟酸溶液可以进入到柚子型光纤内部进行选择性腐蚀，最后形成悬空的纤芯，作为波导膜片。

公开(公告)号：CN118518192A

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202410555971.6

申请日：2024-05-07

Applicant: 上海大学

Inventor： 张琦 ,  马俊龙 ,  张小贝 ,  陈宁 ,  但德春 ,  邓传鲁 ,  黄怿 ,  王廷云

IPC: G01H9/00

Abstract: 一种基于压杆失稳传感增强的低频振动传感器，包括光纤器件、弹性薄片、弹性杆、质量块、弹性薄片夹具、固定支柱、底座等模块。其中，固定支柱的中心设有多种类型的通孔以便固定不同尺寸的光纤器件，并使光纤器件的平整端面正对弹性薄片中心。弹性杆和底座的中心位置设有夹具以固定弹性薄片。弹性杆与质量块设为一体化结构。本发明的振动传感器通过检测弹性薄片中心的扰度，实现对弹性杆中心受压形变的放大，提高传感精度和灵敏度。本发明有望用于低频串扰振动传感应用。