一种氦质谱检漏装置及检漏方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119618489A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202411807355.1

    申请日:2024-12-10

    Abstract: 本发明属于氦质谱检漏技术领域,公开了一种氦质谱检漏装置及检漏方法,氦质谱检漏装置包括检漏舱、氦质谱检漏仪、装卸机构和控制模块,检测舱一端开设有舱口,检漏舱连接有舱门和真空泵组,舱门连接有启闭驱动件,真空泵组设置于检漏舱内部;氦质谱检漏仪与检漏舱连接;装卸机构包括第一平移组件和第二平移组件,第一平移组件用于驱动电气贯穿件沿第一方向移动,第二平移组件与第一平移组件连接,用于驱动电气贯穿件沿第二方向移动;控制模块与启闭驱动件、真空泵组、氦质谱检漏仪、第一平移组件、第二平移组件均连接。如此,第一平移组件和第二平移组件能够使电气贯穿件稳定移动,提高氦质谱检漏效率及安全性。

Patent Agency Ranking