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公开(公告)号：CN105093004A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201410216907.1
申请日：2014-05-22
Applicant: 上海北京大学微电子研究院
IPC: G01R31/00
Abstract: 本发明提供了双缆传输线脉冲测试系统，我们通过TLP（TransmissionLinePulse）测试系统的开发，利用短脉冲方波模拟真实的静电放电模式，来实现定量地进行ESD保护电路的性能特性评价的目标。以提高加载到被测器件两端的测试能量，并可以提高测试结果的精确性。其中所述传输线脉冲测试系统，包括电压充放电的传输线部分，此外还包括用于匹配系统阻抗，消减反射脉冲波形的衰减滤波电路结构；该系统还包括用以评估器件内部损坏的漏电流测试部分。其中所述衰减器部分采用异阻式衰减器设计方法，用以匹配前后阻抗的变化；滤波器设计部分采用巴塞尔滤波器，用以实现波形边沿整形，几乎没有过冲现象。
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