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公开(公告)号：CN113847985A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111161543.8
申请日：2021-09-30
Applicant: 上海交通大学烟台信息技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种二维光栅三量程光栅光谱仪，涉及光栅光谱仪领域，包括二维光栅、探测阵列和光路元件，其特征在于：二维光栅为二维矩形晶格非对称周期三量程的亚波长光栅，包括衬底、光栅和抗反射结构，衬底位于光栅的底面；探测阵列包括CCD接收器，CCD接收器接收经二维光栅后产生的自由空间衍射光；光路元件包括托盘和转轴，托盘上表面设置有二维光栅；转轴转动时，带动托盘旋转，从而利用二维光栅的不同周期，实现光栅光谱仪测量量程的切换。本发明结构紧凑，量程宽，灵敏度高，可适应各种复杂环境且价格低廉。
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公开(公告)号：CN113835152B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202111161525.X
申请日：2021-09-30
Applicant: 上海交通大学烟台信息技术研究院
Abstract: 本申请提供一种波导光栅，包括波导与光栅，其特征在于，所述波导与所述光栅在所述光栅的周期性结构处连接，所述波导被配置为当入射光经过光栅反射后，同时产生自由空间衍射光和波导模式光。本申请还提供了一种包括上述波导光栅的光栅光谱仪，通过托盘上设置多个波导光栅实现量程可调的功能。本申请通过波导出射面的设置，以及配合反射镜的设置，增加了反射光的光程，使得不同波长成分的光在空间上充分分离，提高了测量灵敏度。且结构简单，成本低廉，适合大规模生产。
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公开(公告)号：CN113847985B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202111161543.8
申请日：2021-09-30
Applicant: 上海交通大学烟台信息技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种二维光栅三量程光栅光谱仪，涉及光栅光谱仪领域，包括二维光栅、探测阵列和光路元件，其特征在于：二维光栅为二维矩形晶格非对称周期三量程的亚波长光栅，包括衬底、光栅和抗反射结构，衬底位于光栅的底面；探测阵列包括CCD接收器，CCD接收器接收经二维光栅后产生的自由空间衍射光；光路元件包括托盘和转轴，托盘上表面设置有二维光栅；转轴转动时，带动托盘旋转，从而利用二维光栅的不同周期，实现光栅光谱仪测量量程的切换。本发明结构紧凑，量程宽，灵敏度高，可适应各种复杂环境且价格低廉。
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公开(公告)号：CN113835152A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111161525.X
申请日：2021-09-30
Applicant: 上海交通大学烟台信息技术研究院
Abstract: 本申请提供一种波导光栅，包括波导与光栅，其特征在于，所述波导与所述光栅在所述光栅的周期性结构处连接，所述波导被配置为当入射光经过光栅反射后，同时产生自由空间衍射光和波导模式光。本申请还提供了一种包括上述波导光栅的光栅光谱仪，通过托盘上设置多个波导光栅实现量程可调的功能。本申请通过波导出射面的设置，以及配合反射镜的设置，增加了反射光的光程，使得不同波长成分的光在空间上充分分离，提高了测量灵敏度。且结构简单，成本低廉，适合大规模生产。
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