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1.

发明公开
波长扫描装置无效

公开(公告)号：CN101788340A

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN201010130851.X

申请日：2010-03-24

Applicant: 上海交通大学 , 北京普析通用仪器有限责任公司

Inventor： 黄梅珍 , 黄晋卿 , 童雅星 , 金玉希 , 施嫚嫚 , 田禾

IPC: G01J3/06 , G01J3/28

Abstract: 一种光谱测量技术领域的波长扫描装置，包括：步进电机、联轴器、转盘、多面反射镜、光栅座、光栅、光源、会聚透镜、分束镜组或整形镜、位置敏感探测器和处理电路，其中：步进电机的转轴与联轴器固定连接，联轴器依次与转盘和光栅座相连接，多面反射镜固定在转盘外侧面的圆周上，光栅固定设置于光栅座上，光栅的刻划面的中心位于转轴的轴线上，光源、会聚透镜和分束镜组或整形镜依次先后设置并朝向多面反射镜，位置敏感探测器设置于光源经多面反射镜反射的反射光路上并与处理电路相连接以接收反射光斑。本发明通过对光栅的运动情况进行进行高精度测量，实现既高精度又快速的波长扫描测量要求。

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