三维集成电路封装微凸点激光打印方法

    公开(公告)号:CN117577546A

    公开(公告)日:2024-02-20

    申请号:CN202311535220.X

    申请日:2023-11-16

    Abstract: 本发明提供了一种三维集成电路封装微凸点激光打印方法,包括:将已制备微焊盘的芯粒放置到供体膜下方的卡盘上,利用脉冲激光对准辐照供体膜,使供体膜局部熔化并形成金属微滴喷射,沉积到微焊盘表面上,冷却凝固形成金属微凸点阵列。本发明通过激光直写打印制备微凸点,无需掩膜,工艺流程简单,周期短;通过改变激光光斑尺寸和辐照供体膜位置制备不同尺寸和位置分布的微凸点阵列,工艺柔性高;通过更换供体膜材料,实现不同成分微凸点制备,材料适用范围广。

    脉冲飞秒激光诱导柔性薄膜表面图案化纳米颗粒植入装置和方法

    公开(公告)号:CN117301500A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311475741.0

    申请日:2023-11-07

    Abstract: 本发明提供了一种脉冲飞秒激光诱导柔性薄膜表面图案化纳米颗粒植入装置和方法,飞秒激光器产生的脉冲激光经过空间整形光路,透过载有离散薄膜的透明供体基底聚焦到离散薄膜上,离散薄膜在飞秒激光脉冲辐照下弹跳脱离供体基底,同时熔化收缩成球形颗粒,以一定的速度嵌入到柔性薄膜中,实现柔性薄膜内的纳米颗粒植入。本发明摆脱光刻、旋涂和剥离等复杂工艺流程,避免化学试剂对柔性薄膜的损伤,能够一步将纳米颗粒植入柔性薄膜中,提升使用耐久性,有效提高制备效率,同时实现绿色环保制造。

    一种基于扩散反扩散系统的自组织热沉结构设计方法

    公开(公告)号:CN114757125A

    公开(公告)日:2022-07-15

    申请号:CN202210435929.1

    申请日:2022-04-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于扩散反扩散系统的自组织热沉结构设计方法,包括,步骤1:选定初始控制场与几何初值场;步骤2:通过扩散反扩散迭代方程对初值场进行迭代,得到标量函数f,并获得自组织结构;步骤3:将步骤2中的几何边界信息导入CAD软件,转换为几何实体;步骤4:通过计算流体力学仿真,对自组织结构进行评估;步骤5:根据传热性能表现判断是否需要结构优化,如未达到设计要求,则对控制场与几何初值场进行优化,进入步骤6;如已达到设计要求,则加工热沉结构。步骤6:优化后得到新的控制场与初值场,转跳至步骤2。结果表明该方法在减少热沉压强损失的情况下,显著提高了热沉的换热能力,具有很高的应用价值。

    一种基于扩散反扩散系统的自组织热沉结构设计方法

    公开(公告)号:CN114757125B

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202210435929.1

    申请日:2022-04-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于扩散反扩散系统的自组织热沉结构设计方法,包括,步骤1:选定初始控制场与几何初值场;步骤2:通过扩散反扩散迭代方程对初值场进行迭代,得到标量函数f,并获得自组织结构;步骤3:将步骤2中的几何边界信息导入CAD软件,转换为几何实体;步骤4:通过计算流体力学仿真,对自组织结构进行评估;步骤5:根据传热性能表现判断是否需要结构优化,如未达到设计要求,则对控制场与几何初值场进行优化,进入步骤6;如已达到设计要求,则加工热沉结构。步骤6:优化后得到新的控制场与初值场,转跳至步骤2。结果表明该方法在减少热沉压强损失的情况下,显著提高了热沉的换热能力,具有很高的应用价值。

    基于环形光斑调制的微锥阵列飞秒激光加工方法及系统

    公开(公告)号:CN116810137A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310565650.X

    申请日:2023-05-18

    Abstract: 本发明提供了一种基于环形光斑调制的微锥阵列飞秒激光加工方法及系统,包括光束整形模块、聚焦模块、运动模块、视觉标定模块、对焦测量模块以及同步触发模块。光束整形模块提供多束并行调制激光,多束并行调制激光经聚焦模块聚焦为环形聚焦激光束,环形聚焦激光束对运动模块上的微锥阵列毛坯件加工。视觉标定模块标定环形聚焦激光束聚焦位置并实时监测激光加工过程,对焦测量模块构建微锥阵列毛坯件的三维形貌。同步触发模块依据微锥阵列毛坯件的三维形貌形成光束整形模块和运动模块的控制时序。本发明通过物镜精准聚焦与多光束并行加工的结合,能够同时兼顾大规模微米级微锥阵列的加工精度与效率要求。

Patent Agency Ranking