-
公开(公告)号:CN117115083B
公开(公告)日:2025-02-28
申请号:CN202310892349.X
申请日:2023-07-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G06T7/00 , G06T7/80 , G06V10/764 , G01J9/00
Abstract: 本发明涉及一种夏克哈特曼波前传感器误差评估方法,包括通过夏克哈特曼波前传感器测量被测波前,获取夏克哈特曼波前传感器系统参数;分析传感器不同误差源的取值范围,并通过各误差源的取值范围随机抽样一组误差值;构建夏克哈特曼光学模型,并获得标准波前与被测波前经过微透镜聚焦后成像在图像传感器上的标准光斑阵列及被测光斑阵列;计算被测波前斜率分布,重建被测波前,并计算测量残差;随机抽样误差,重复执行以上步骤;根据不同抽样误差下的测量残差,评定夏克哈特曼波前传感器对被测波前的测量不确定度。与现有技术相比,本发明通过多次误差抽样实现夏克哈特曼传感器综合测量不确定度评估,具有评定任意测量波前误差的优势。
-
公开(公告)号:CN117870879B
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN202311694390.2
申请日:2023-12-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01J9/00
Abstract: 本发明涉及一种基于全局光斑匹配的夏克哈德曼波前检测方法,包括通过夏克哈特曼波前传感器采集被测波前成像后的测量光斑图像;通过阈值分割算法和特征点提取算法获取测量光斑特征点集;随机生成M组波前表征参数,产生M个入射波前;通过构建夏克哈特曼波前传感器光学模型来获得估计光斑图像,并计算M组估计光斑特征点集;构建全局光斑匹配目标函数,评估M组估计光斑特征点集与测量光斑特征点集之间的差异,从而根据迭代匹配算法更新波前表征参数;重复执行以上步骤,直至达到阈值条件,获得最佳入射波前,从而计算匹配各微透镜的对应聚焦光斑位置,重建被测波前。与现有技术相比,本发明具有动态范围广、鲁棒性强等优点。
-
公开(公告)号:CN116858809A
公开(公告)日:2023-10-10
申请号:CN202310851440.7
申请日:2023-07-12
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种基于相位掩模增强的散射介质传输矩阵测量方法和装置,方法包括:生成准直光束并分隔为多个子光束,对各个子光束施加所需相位延迟量,然后合并为一束光,来施加相位掩模因子;改变光束的振幅分布,分别输入多个调控图案,得到多个调控光场;将各个调控光场依次输入散射介质,形成多个散斑图案,并获取振幅分布;调整相位掩模因子,重复执行上述步骤;根据获取的振幅分布,迭代解算散射介质传输矩阵。与现有技术相比,本发明提出通过外植入相位掩模控制模块,增加对相位的约束条件,克服了传统振幅型空间光调制器的非干涉散射介质传输矩阵测量方法难以准确测量传输矩阵相位维度信息的难题,具有测量精度高、测量速度快等优点。
-
公开(公告)号:CN119309599A
公开(公告)日:2025-01-14
申请号:CN202411475735.X
申请日:2024-10-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种基于光场调控的天体星点模拟方法与装置,首次提出利用光场调控对光信息的复合调制作用实现大范围、高移动精度的单一或若干星点精密调控,通过由激光光源、光场调控装置和空间频率拓展装置组成的大范围调控模块模拟多星点大视角移动,通过由微角度调控装置模拟星点高精度的移动,通过口径匹配输出装置产生大偏角范围、高精度偏转的平行光输出,将跨尺度多星点模拟技术运用到毫角秒级、亚角秒级别的极高精度天体测量敏感器标定中。与现有技术相比,本发明解决了目前天体星点模拟技术光束角度偏转范围与精度严重受限的难题。
-
公开(公告)号:CN116896616B
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202310435279.5
申请日:2023-04-21
Applicant: 上海交通大学
IPC: H04N9/31
Abstract: 本发明涉及一种补偿色散DMD投影方法,包括以下步骤:将投影光源出射的包含有不同波长的光束投射到色散棱镜上,使不同波长的光束以不同的入射角度照射在DMD上;根据所需投射的图案对DMD上的各个微镜状态进行控制;由DMD对投射到DMD表面的不同波长的光束进行反射,不同入射角度的不同波长的光束经过DMD反射后以相同的出射角度出射;由DMD反射的不同入射角度的不同波长的光束经投影物镜后在投影面位置上形成所需投射的多波长图案。与现有技术相比,本发明首次提出补偿色散技术,采用色散棱镜使投影光束产生的色散与DMD因衍射效应引起的色散相抵消,具有出光效率更高,投影色彩还原度高、光谱信息完整、图案更清晰的优点。
-
公开(公告)号:CN116896616A
公开(公告)日:2023-10-17
申请号:CN202310435279.5
申请日:2023-04-21
Applicant: 上海交通大学
IPC: H04N9/31
Abstract: 本发明涉及一种补偿色散DMD投影方法,包括以下步骤:将投影光源出射的包含有不同波长的光束投射到色散棱镜上,使不同波长的光束以不同的入射角度照射在DMD上;根据所需投射的图案对DMD上的各个微镜状态进行控制;由DMD对投射到DMD表面的不同波长的光束进行反射,不同入射角度的不同波长的光束经过DMD反射后以相同的出射角度出射;由DMD反射的不同入射角度的不同波长的光束经投影物镜后在投影面位置上形成所需投射的多波长图案。与现有技术相比,本发明首次提出补偿色散技术,采用色散棱镜使投影光束产生的色散与DMD因衍射效应引起的色散相抵消,具有出光效率更高,投影色彩还原度高、光谱信息完整、图案更清晰的优点。
-
公开(公告)号:CN116538967B
公开(公告)日:2025-01-28
申请号:CN202310699835.X
申请日:2023-06-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明涉及一种兼顾动态范围和精度的干涉形貌测量方法,包括:将激光分为测量光和参考光,测量光照射被测样品表面,并经过被测样品表面调制后形成待测光;将该待测光与参考光干涉,形成干涉图案;改变测量光的角度,使得测量光以不同的入射角照射被测样品,将原本处于高频区域无法探测的被测表面频谱信息依次移动至低频区域并记录在相应干涉图像中;利用频谱拼接算法融合各干涉图像所记录待测光中具有不同频谱偏移的低频信息,恢复被测表面高分辨频谱;利用形貌矫正技术对高分辨频谱解析出三维形貌进行优化,矫正测量和拼接过程中的系统偏差,进而获得被测表面高精度形貌测量结果。与现有技术相比,本发明具有动态范围大、测量精度高、通用性强等优点。
-
公开(公告)号:CN117870879A
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN202311694390.2
申请日:2023-12-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01J9/00
Abstract: 本发明涉及一种基于全局光斑匹配的夏克哈德曼波前检测方法,包括通过夏克哈特曼波前传感器采集被测波前成像后的测量光斑图像;通过阈值分割算法和特征点提取算法获取测量光斑特征点集;随机生成M组波前表征参数,产生M个入射波前;通过构建夏克哈特曼波前传感器光学模型来获得估计光斑图像,并计算M组估计光斑特征点集;构建全局光斑匹配目标函数,评估M组估计光斑特征点集与测量光斑特征点集之间的差异,从而根据迭代匹配算法更新波前表征参数;重复执行以上步骤,直至达到阈值条件,获得最佳入射波前,从而计算匹配各微透镜的对应聚焦光斑位置,重建被测波前。与现有技术相比,本发明具有动态范围广、鲁棒性强等优点。
-
公开(公告)号:CN117115083A
公开(公告)日:2023-11-24
申请号:CN202310892349.X
申请日:2023-07-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G06T7/00 , G06T7/80 , G06V10/764 , G01J9/00
Abstract: 本发明涉及一种夏克哈特曼波前传感器误差评估方法,包括通过夏克哈特曼波前传感器测量被测波前,获取夏克哈特曼波前传感器系统参数;分析传感器不同误差源的取值范围,并通过各误差源的取值范围随机抽样一组误差值;构建夏克哈特曼光学模型,并获得标准波前与被测波前经过微透镜聚焦后成像在图像传感器上的标准光斑阵列及被测光斑阵列;计算被测波前斜率分布,重建被测波前,并计算测量残差;随机抽样误差,重复执行以上步骤;根据不同抽样误差下的测量残差,评定夏克哈特曼波前传感器对被测波前的测量不确定度。与现有技术相比,本发明通过多次误差抽样实现夏克哈特曼传感器综合测量不确定度评估,具有评定任意测量波前误差的优势。
-
公开(公告)号:CN116538967A
公开(公告)日:2023-08-04
申请号:CN202310699835.X
申请日:2023-06-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明涉及一种兼顾动态范围和精度的干涉形貌测量方法,包括:将激光分为测量光和参考光,测量光照射被测样品表面,并经过被测样品表面调制后形成待测光;将该待测光与参考光干涉,形成干涉图案;改变测量光的角度,使得测量光以不同的入射角照射被测样品,将原本处于高频区域无法探测的被测表面频谱信息依次移动至低频区域并记录在相应干涉图像中;利用频谱拼接算法融合各干涉图像所记录待测光中具有不同频谱偏移的低频信息,恢复被测表面高分辨频谱;利用形貌矫正技术对高分辨频谱解析出三维形貌进行优化,矫正测量和拼接过程中的系统偏差,进而获得被测表面高精度形貌测量结果。与现有技术相比,本发明具有动态范围大、测量精度高、通用性强等优点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-