公开(公告)号：CN101738163A

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200910311646.0

申请日：2009-12-17

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 曹家勇 ,  王石刚 ,  冯磊 ,  董汉成 ,  朱文

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种机械电子技术领域的全光电式磁浮工件台六维位姿测量系统，包括：磁浮工件台、传感器组和六维坐标导出单元，其中：传感器组固定于磁浮工件台上，传感器组的输入端随磁浮工件台自由移动以采集磁浮工件台位移方向和距离信息，传感器组的输出端与六维坐标导出单元相连传输磁浮工件台位移方向和距离信息，六维坐标导出单元输出磁浮工件台的六维位姿信息；所述的传感器组包括：两个微图像位移传感器和三个激光位移传感器。本发明应用于制造设备与机器人领域，系统整体尺寸小、结构紧凑；测量范围大大拓展；采用全光电式传感器，其抗电磁干扰能力得以增强。

公开(公告)号：CN101738163B

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：CN200910311646.0

申请日：2009-12-17

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 曹家勇 ,  王石刚 ,  冯磊 ,  董汉成 ,  朱文

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种机械电子技术领域的全光电式磁浮工件台六维位姿测量系统，包括：磁浮工件台、传感器组和六维坐标导出单元，其中：传感器组固定于磁浮工件台上，传感器组的输入端随磁浮工件台自由移动以采集磁浮工件台位移方向和距离信息，传感器组的输出端与六维坐标导出单元相连传输磁浮工件台位移方向和距离信息，六维坐标导出单元输出磁浮工件台的六维位姿信息；所述的传感器组包括：两个微图像位移传感器和三个激光位移传感器。本发明应用于制造设备与机器人领域，系统整体尺寸小、结构紧凑；测量范围大大拓展；采用全光电式传感器，其抗电磁干扰能力得以增强。