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公开(公告)号：CN102140668A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN201110058079.X
申请日：2011-03-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微纳米技术领域的碳纳米管和金属铜复合电镀工艺的优化方法，采用酸性镀铜的方式将硫酸铜与碳纳米管混合后作为电镀液，进一步加入聚丙烯酸作为分散剂后倒入电镀池中，在超声环境下进行电镀。本发明使碳纳米管牢固和金属铜结合，均匀分布在复合镀层上，从碳纳米管的数量和均匀性上提高复合镀层的质量。
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公开(公告)号：CN102175381B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201110058075.1
申请日：2011-03-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种压力传感器技术领域的基于碳纳米管和金属铜复合电镀的压力传感器及其制备方法，该压力传感器，包括：阴极、固定设置于阴极顶部的阳极，以及位于阴极和阳极之间的真空腔，所述的阳极为由湿法刻蚀制成的包含真空窗和压力窗两个窗口的单晶硅片，所述的阴极包括玻璃片、单晶硅片、铬铜层以及碳纳米管-铜复合层和碳纳米管。本发明具有体积小、重量轻的优点，既可以在室温下使用，还可以在高空或其它环境中使用。
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公开(公告)号：CN102175381A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110058075.1
申请日：2011-03-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种压力传感器技术领域的基于碳纳米管和金属铜复合电镀的压力传感器及其制备方法，该压力传感器，包括：阴极、固定设置于阴极顶部的阳极，以及位于阴极和阳极之间的真空腔，所述的阳极为由湿法刻蚀制成的包含真空窗和压力窗两个窗口的单晶硅片，所述的阴极包括玻璃片、单晶硅片、铬铜层以及碳纳米管-铜复合层和碳纳米管。本发明具有体积小、重量轻的优点，既可以在室温下使用，还可以在高空或其它环境中使用。
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