公开(公告)号：CN108173451B

公开(公告)日：2019-08-06

申请号：CN201711421042.2

申请日：2017-12-25

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 胡院林 ,  王文

IPC: H02N2/00 ,  F04B43/04 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09

Abstract: 本发明公开了一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，包括：薄膜压电驱动器、静电驱动器、不可压缩流体、底座、基体、固定壁面等组成。结构的驱动部件为薄膜压电驱动器和静电驱动器。在交变驱动电压信号下，压电驱动器产生周期性驱动力，通过不可压缩流体将此驱动力传递至柔性薄膜，使柔性薄膜获得一定的驱动力；同时柔性薄膜在静电力驱动下向固定壁面贴合，实现静电驱动。以上压电和静电同时进行，通过调节压电驱动器与传递液体的接触面积大于柔性薄膜与液体的接触面积，在一定程度上放大压电薄膜驱动器的驱动力，即可获得较大的驱动力，本发明具有复合驱动结构响应速度快，驱动力高的特点。

公开(公告)号：CN108167167B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201711421031.4

申请日：2017-12-25

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张兴磊 ,  胡院林 ,  王文

IPC: F04B45/047 ,  F04B39/10 ,  F04B39/12

Abstract: 本发明公开了一种复合静电和压电驱动的微型振膜压缩机，包括：复合驱动振膜、质心块、压缩机基体、压缩机腔体、弹性止回式阀片和压缩机端盖等组成，压缩机腔体采用回转曲面型腔体，行腔函数依据振膜形变而定，保证振膜在排气结束时与腔体贴合，微型振膜压缩机工作时，先利用压电振子的快速响应，驱动振膜压缩流体并引导柔性薄膜与腔体壁面贴合，进入静电驱动效率较高的间距范围内，通过静电驱动进一步对流体进行压缩和排气，使得压缩机具有较高的容积效率。同时微型隔膜压缩机的实际结构可以是单腔体或双腔体结构。本发明微型压缩机体积小、响应速度快，复合了静电和压电驱动，因此具有较高的排气压升。

公开(公告)号：CN108167167A

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201711421031.4

申请日：2017-12-25

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张兴磊 ,  胡院林 ,  王文

IPC: F04B45/047 ,  F04B39/10 ,  F04B39/12

CPC classification number: F04B45/047 ,  F04B39/102 ,  F04B39/121

Abstract: 本发明公开了一种复合静电和压电驱动的微型振膜压缩机，包括：复合驱动振膜、质心块、压缩机基体、压缩机腔体、弹性止回式阀片和压缩机端盖等组成，压缩机腔体采用回转曲面型腔体，行腔函数依据振膜形变而定，保证振膜在排气结束时与腔体贴合，微型振膜压缩机工作时，先利用压电振子的快速响应，驱动振膜压缩流体并引导柔性薄膜与腔体壁面贴合，进入静电驱动效率较高的间距范围内，通过静电驱动进一步对流体进行压缩和排气，使得压缩机具有较高的容积效率。同时微型隔膜压缩机的实际结构可以是单腔体或双腔体结构。本发明微型压缩机体积小、响应速度快，复合了静电和压电驱动，因此具有较高的排气压升。

公开(公告)号：CN108173451A

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201711421042.2

申请日：2017-12-25

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 胡院林 ,  王文

IPC: H02N2/00 ,  F04B43/04 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09

CPC classification number: H02N2/001 ,  F04B43/043 ,  F04B43/046 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H02N2/0075 ,  H02N2/22

Abstract: 本发明公开了一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，包括：薄膜压电驱动器、静电驱动器、不可压缩流体、底座、基体、固定壁面等组成。结构的驱动部件为薄膜压电驱动器和静电驱动器。在交变驱动电压信号下，压电驱动器产生周期性驱动力，通过不可压缩流体将此驱动力传递至柔性薄膜，使柔性薄膜获得一定的驱动力；同时柔性薄膜在静电力驱动下向固定壁面贴合，实现静电驱动。以上压电和静电同时进行，通过调节压电驱动器与传递液体的接触面积大于柔性薄膜与液体的接触面积，在一定程度上放大压电薄膜驱动器的驱动力，即可获得较大的驱动力，本发明具有复合驱动结构响应速度快，驱动力高的特点。