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公开(公告)号：CN100566120C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200710039997.1
申请日：2007-04-26
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种聚合物基面外运动电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能翘曲层、翘曲牵制层；翘曲牵制层位于功能翘曲层上方，形成双层结构，引线电极与功能翘曲层相连，用于电输入，引线电极置于基座支撑结构之上；所述的功能翘曲层为SU-8胶包裹镍电阻条构成的三明治结构，被SU-8胶包裹的还有镍电柱，镍电柱用于支撑起镍电阻条，使镍电阻条悬空被SU-8胶包裹。本发明用聚合物基包裹镍电阻丝直接作为功能翘曲层，实现了面外运动，同时也很好地改善了双层结构电热驱动器释放后悬空部分难以保持平直的现象；当输入功率为20mW时，位移功率密度达290nm/mW。
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公开(公告)号：CN101075795A
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200710039997.1
申请日：2007-04-26
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种聚合物基面外运动电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能翘曲层、翘曲牵制层；翘曲牵制层位于功能翘曲层上方，形成双层结构，引线电极与功能翘曲层相连，用于电输入，引线电极置于基座支撑结构之上；所述的功能翘曲层为SU－8胶包裹镍电阻条构成的三明治结构，被SU－8胶包裹的还有镍电柱，镍电柱用于支撑起镍电阻条，使镍电阻条悬空被SU－8胶包裹。本发明用聚合物基包裹镍电阻丝直接作为功能翘曲层，实现了面外运动，同时也很好地改善了双层结构电热驱动器释放后悬空部分难以保持平直的现象；当输入功率为20mW时，位移功率密度达290nm/mW。
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