微流控相变汽泡微泵阀及其方法

    公开(公告)号:CN103706413B

    公开(公告)日:2015-12-30

    申请号:CN201310699647.3

    申请日:2013-12-18

    Abstract: 本发明提供了一种微流控相变汽泡微泵阀,包括微通道结构、储液微穴、加热装置、底层芯片、绝缘层以及顶层芯片;所述微通道结构和所述储液微穴设置在顶层芯片上;所述储液微穴连接在所述微通道结构的两侧;所述储液微穴用于充装相变液体;所述加热装置设置在所述底层芯片上,所述加热装置用于对储液微穴内充装的相变液体进行加热;所述绝缘层设置在所述底层芯片和顶层芯片之间。本发明还提供相应的使用方法和相变液体的充注方法。本发明具有微泵和微阀双重功能,通过调节加热装置供给加热功率实现微泵和微阀功能转变,可缩减微流控加工工艺;作为微泵使用时,可实现微通道内流体间歇性输运;作为微阀使用时,可实现微通道内流体流量精确调节。

    微流控相变汽泡微泵阀及其方法

    公开(公告)号:CN103706413A

    公开(公告)日:2014-04-09

    申请号:CN201310699647.3

    申请日:2013-12-18

    Abstract: 本发明提供了一种微流控相变汽泡微泵阀,包括微通道结构、储液微穴、加热装置、底层芯片、绝缘层以及顶层芯片;所述微通道结构和所述储液微穴设置在顶层芯片上;所述储液微穴连接在所述微通道结构的两侧;所述储液微穴用于充装相变液体;所述加热装置设置在所述底层芯片上,所述加热装置用于对储液微穴内充装的相变液体进行加热;所述绝缘层设置在所述底层芯片和顶层芯片之间。本发明还提供相应的使用方法和相变液体的充注方法。本发明具有微泵和微阀双重功能,通过调节加热装置供给加热功率实现微泵和微阀功能转变,可缩减微流控加工工艺;作为微泵使用时,可实现微通道内流体间歇性输运;作为微阀使用时,可实现微通道内流体流量精确调节。

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