公开(公告)号：CN1553236A

公开(公告)日：2004-12-08

申请号：CN200310122736.8

申请日：2003-12-19

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 慕桓 ,  王洁红 ,  向端燕 ,  金国良 ,  戴蓓兴

IPC: G02B6/13 ,  G02B6/136 ,  G02B6/134

Abstract: 一种是掺铒磷酸盐两步离子交换光波导制作方法。属于光通信领域。包括如下步骤：1.离子交换熔盐的配制，2.衬底样品掩膜图形的制备，3.两次离子交换，4.退火，5.去除掩膜层，6.端面抛光，其中所述的离子交换熔盐为硝酸银、硝酸钠、硝酸钾的混合物，其重量百分比组成范围为：一号盐浴：一次交换使用，硝酸银5～10％，硝酸钾90～95％；二号盐浴：二次交换使用，硝酸钾0～10％，硝酸钠90～100％。本发明方法经过两步离子交换和退火工艺，使光波导折射率分布对称性较好，偏振相关损耗低于0.2～0.3dB，光波导传输损耗低于0.7～1.2dB/cm；两步离子交换和退火连续进行，工艺周期短，稳定性好；不只适用于掺铒磷酸盐玻璃，对其他类似的玻璃材料也同样适用。

公开(公告)号：CN1252500C

公开(公告)日：2006-04-19

申请号：CN200310122736.8

申请日：2003-12-19

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 慕桓 ,  王洁红 ,  向端燕 ,  金国良 ,  戴蓓兴

IPC: G02B6/13 ,  G02B6/136 ,  G02B6/134

Abstract: 一种是掺铒磷酸盐两步离子交换光波导制作方法。属于光通信领域。包括如下步骤：1.离子交换熔盐的配制，2.衬底样品掩膜图形的制备，3.两次离子交换，4.退火，5.去除掩膜层，6.端面抛光，其中所述的离子交换熔盐为硝酸银、硝酸钠、硝酸钾的混合物，其重量百分比组成范围为：一号盐浴：一次交换使用，硝酸银5～10%，硝酸钾90～95%；二号盐浴：二次交换使用，硝酸钾0～10%，硝酸钠90～100%。本发明方法经过两步离子交换和退火工艺，使光波导折射率分布对称性较好，偏振相关损耗低于0.2～0.3dB，光波导传输损耗低于0.7～1.2dB/cm；两步离子交换和退火连续进行，工艺周期短，稳定性好；不只适用于掺铒磷酸盐玻璃，对其他类似的玻璃材料也同样适用。