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发明公开
旋转式表面处理装置、用于处理槽的环状部件无效

公开(公告)号：CN110318089A

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201910174665.7

申请日：2019-03-08

Applicant: 上村工业株式会社

Inventor： 堀田辉幸 , 清水宏治 , 内海雅之 , 荒谷真佐登

IPC: C25D17/22

Abstract: 提供处理液的排出时间较短并且处理效率较高的旋转式表面处理装置和用于处理槽的环状部件。通过处理槽(2)的旋转，部件(20)与电极(50)接触，而实施电镀。此时，镀覆液(16)借助泵(P)而被循环使用。在更换镀覆液(16)时等，在排出镀覆液(16)时从侧壁(80)的空隙向外部放出该镀覆液(16)。在排出时，不进行基于泵(P)的循环。形成于侧壁(80)的空隙(8)在内侧形成为比部件(20)的最小尺寸小。朝向外侧而形成为变大。因此，会迅速地进行排水。

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