公开(公告)号：CN110291222A

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201780080220.1

申请日：2017-10-03

Applicant: 三菱综合材料电子化成株式会社 ,  大同特殊钢株式会社

Inventor： 金井昌弘 ,  续桥浩司 ,  小西希 ,  萩原正弘 ,  胜见昌高 ,  小林和人

IPC: C23C14/34

Abstract: 在长方形板状的靶材(10)的表面，作为设计上不被溅射的虚拟区域，在靶材(10)的宽度方向的中央形成于长度方向延伸的沟部(13)。在将靶材(10)表面的宽度(W1)设为100%时，沟部(13)的宽度(W2)为20~40%。另外，将沟部(13)的角部(14)形成为弯曲面，该角部(14)的开口边缘的曲率半径优选为1.0mm以上。

公开(公告)号：CN110291222B

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN201780080220.1

申请日：2017-10-03

Applicant: 三菱综合材料电子化成株式会社 ,  大同特殊钢株式会社

Inventor： 金井昌弘 ,  续桥浩司 ,  小西希 ,  萩原正弘 ,  胜见昌高 ,  小林和人

IPC: C23C14/34

Abstract: 在长方形板状的靶材(10)的表面，作为设计上不被溅射的虚拟区域，在靶材(10)的宽度方向的中央形成于长度方向延伸的沟部(13)。在将靶材(10)表面的宽度(W1)设为100%时，沟部(13)的宽度(W2)为20~40%。另外，将沟部(13)的角部(14)形成为弯曲面，该角部(14)的开口边缘的曲率半径优选为1.0mm以上。