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公开(公告)号：CN107208260A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201580074334.6
申请日：2015-01-30
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/32 , B23B27/14 , B23C5/202 , B23C2200/36 , B23P15/28 , C23C14/345 , C23C14/50 , C23C14/505 , C23C14/568 , C23C16/4588 , C23C16/54
Abstract: 本发明的成膜装置具备：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜区域；输送装置，输送支撑被成膜物的输送载体；及偏置电源，经由输送载体对被成膜物施加偏置电压，在输送载体上以竖立姿势沿载体输送方向配置有支撑被成膜物并且绕轴旋转的多个杆，在杆的外周面上设置有朝向径向外侧突出的突出部件，在成膜室的壁面经由绝缘部件设置有干涉部件，所述干涉部件挂住在成膜室内移动的输送载体的突出部件以使杆绕轴旋转，干涉部件与偏置电源电连接。
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公开(公告)号：CN106460166A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201480079906.5
申请日：2014-06-26
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够以适当的温度条件形成涂膜的带涂膜切削工具的成膜装置。所述成膜装置具备在切削工具上形成涂膜的成膜室、经由真空阀分别与成膜室连结的预处理室及后处理室、及从预处理室经由成膜室向后处理室输送切削工具的输送路径，且所述成膜装置为使用沿输送方向以竖立姿势配置有支撑所述切削工具的多个杆的输送载体的直列式的成膜装置。所述成膜室具备在切削工具上形成涂膜的成膜区域、沿输送路径输送输送载体并使其通过成膜区域的输送装置、沿载体输送方向与成膜区域相邻配置且对切削工具进行加热的加热区域、及在所述成膜区域与所述真空阀之间收容所述输送载体的载体待机区域。
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公开(公告)号：CN106460166B
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201480079906.5
申请日：2014-06-26
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够以适当的温度条件形成涂膜的带涂膜切削工具的成膜装置。所述成膜装置具备在切削工具上形成涂膜的成膜室、经由真空阀分别与成膜室连结的预处理室及后处理室、及从预处理室经由成膜室向后处理室输送切削工具的输送路径，且所述成膜装置为使用沿输送方向以竖立姿势配置有支撑所述切削工具的多个杆的输送载体的直列式的成膜装置。所述成膜室具备在切削工具上形成涂膜的成膜区域、沿输送路径输送输送载体并使其通过成膜区域的输送装置、沿载体输送方向与成膜区域相邻配置且对切削工具进行加热的加热区域、及在所述成膜区域与所述真空阀之间收容所述输送载体的载体待机区域。
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公开(公告)号：CN107208260B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201580074334.6
申请日：2015-01-30
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/32 , B23B27/14 , B23C5/202 , B23C2200/36 , B23P15/28 , C23C14/345 , C23C14/50 , C23C14/505 , C23C14/568 , C23C16/4588 , C23C16/54
Abstract: 本发明的成膜装置具备：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜区域；输送装置，输送支撑被成膜物的输送载体；及偏置电源，经由输送载体对被成膜物施加偏置电压，在输送载体上以竖立姿势沿载体输送方向配置有支撑被成膜物并且绕轴旋转的多个杆，在杆的外周面上设置有朝向径向外侧突出的突出部件，在成膜室的壁面经由绝缘部件设置有干涉部件，所述干涉部件挂住在成膜室内移动的输送载体的突出部件以使杆绕轴旋转，干涉部件与偏置电源电连接。
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