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公开(公告)号：CN115210626B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202080097900.6
申请日：2020-03-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(100)具备反射体(10)、旋转体(1)、第1扭曲梁(21)以及第2扭曲梁(22)、第1支撑部(31)、第2支撑部(32)、第1弹性层(41)和第2弹性层(42)。第1弹性层(41)与第1扭曲梁(21)重叠。第2弹性层(42)与第2扭曲梁(22)重叠。在与第1扭曲梁(21)和第2扭曲梁(22)夹入旋转体(1)的方向正交的剖面中，活性层(LA)的纵向尺寸比活性层(LA)的横向尺寸小。第1弹性层(41)以及第2弹性层(42)的材料具有比金属高的疲劳寿命。
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公开(公告)号：CN113366368A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201980090713.2
申请日：2019-02-06
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: MEMS反光镜装置(3)具备框体(外侧可动框体13)、内侧可动构件(23)、第1梁(21)、反射反光镜构件(30)和连结构件(40)。内侧可动构件(23)配置在框体的内侧。第1梁(21)将内侧可动构件(23)可旋转地连结于框体。反射反光镜构件(30)具有反射面(30r)和背面(30s)。连结构件(40)连结反射反光镜构件(30)与内侧可动构件(23)。第1梁(21)在反射反光镜构件(30)的背面(30s)与内侧可动构件(23)连结。MEMS反光镜装置(3)可实现小型化。
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公开(公告)号：CN113366368B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN201980090713.2
申请日：2019-02-06
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: MEMS反光镜装置(3)具备框体(外侧可动框体13)、内侧可动构件(23)、第1梁(21)、反射反光镜构件(30)和连结构件(40)。内侧可动构件(23)配置在框体的内侧。第1梁(21)将内侧可动构件(23)可旋转地连结于框体。反射反光镜构件(30)具有反射面(30r)和背面(30s)。连结构件(40)连结反射反光镜构件(30)与内侧可动构件(23)。第1梁(21)在反射反光镜构件(30)的背面(30s)与内侧可动构件(23)连结。MEMS反光镜装置(3)可实现小型化。
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公开(公告)号：CN110709752A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201880037019.X
申请日：2018-01-18
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(1)具备光源(10)、基板(13)、反射构件(20)、驱动部(25)及控制部(30)。在基板(13)一体化有扫描镜(15)和姿态检测部(18)。姿态检测部(18)输出与基板(13)的姿态角对应的第一信号(31)。反射构件(20)反射由扫描镜(15)反射后的光束(11)。驱动部(25)能够调整反射构件(20)相对于基板(13)的主面(13m)的斜率。控制部(30)基于第一信号(31)控制驱动部(25)。因此，能够与光扫描装置(1)相对于水平面(45)的斜率无关地稳定地维持来自光扫描装置(1)的光束(11)相对于水平面(45)的出射角度。
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公开(公告)号：CN101231303A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200710306261.6
申请日：2007-11-09
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01P15/125
Abstract: 提供一种加速度传感器。第1和第2检测框以能够以第1和第2扭转轴为中心转动的方式被支撑在基板上。第1连接梁，在与第1扭转轴交叉且向着第1检测框的其中一端部方向移动第1扭转轴而得到的轴上，连接到第1检测框。第2连接梁，在与上述方向相反的方向偏移第2扭转轴而得到的轴上，连接到第2检测框。惯性质量决分别通过第1和第2连接梁与第1和第2检测框连接，由此，可在基板的厚度方向产生位移地被支撑在基板上。从而能够得到基本免受外界干扰影响的高精度的加速度传感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118489260A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202280086681.0
申请日：2022-01-04
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 超声波换能器(100)的制造方法具备接下来的工序。准备包括第一硅膜(111)、第二硅膜(113)、以及被第一硅膜(111)和第二硅膜(113)夹住的中间氧化硅膜(112)的第一SOI基板。在第一SOI基板的第一硅膜(111)上形成压电元件(107)。通过对第二硅膜(113)实施蚀刻处理来形成振动板(103)。对第二硅膜(113)连接硅基板。以使振动板(103)的振动声波放大的方式在包括第一SOI基板以及硅基板的声学共振构造(100a)形成开口(205)以及空隙(101)，并且振动板(103)和声学共振构造(100a)的共振频率匹配。
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公开(公告)号：CN110709752B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201880037019.X
申请日：2018-01-18
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(1)具备光源(10)、基板(13)、反射构件(20)、驱动部(25)及控制部(30)。在基板(13)一体化有扫描镜(15)和姿态检测部(18)。姿态检测部(18)输出与基板(13)的姿态角对应的第一信号(31)。反射构件(20)反射由扫描镜(15)反射后的光束(11)。驱动部(25)能够调整反射构件(20)相对于基板(13)的主面(13m)的斜率。控制部(30)基于第一信号(31)控制驱动部(25)。因此，能够与光扫描装置(1)相对于水平面(45)的斜率无关地稳定地维持来自光扫描装置(1)的光束(11)相对于水平面(45)的出射角度。
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公开(公告)号：CN111819486A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201880090386.6
申请日：2018-12-17
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 提供即使使扫描范围变化也能够将空间分辨率保持成恒定的光扫描装置(100)。光扫描装置(100)具备：光源(101)，发出光；扫描镜(106)，为利用反射面反射从光源入射的光的扫描镜(106)，能够绕通过反射面内的第1轴以及与第1轴正交且通过反射面内的第2轴分别独立地振动；以及控制部(103)，控制扫描镜(106)的绕第1轴振动的第1频率以及第1振幅以及绕第2轴振动的第2频率以及第2振幅，扫描被扫描镜(106)的反射面反射的光。控制部(103)根据副扫描方向的最大扫描角来控制第2频率。
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公开(公告)号：CN110892306A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201880030193.1
申请日：2018-03-16
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(100)具备：镜部(1)，具有对光进行反射的镜面(1B)；N个支撑梁(2-1)～(2-4)，能够摇动地支撑镜部(1)；N个驱动梁(3-1)～(3-4)；以及驱动用的多个压电元件(5-i-a～d(i＝1～4))，被粘结到N个驱动梁上。通过将对多个压电元件(5-i-a、b、c、d)的各个提供的交流电压的频率设为确定的共同的值，将对多个压电元件(5-i-a、b、c、d)的各个提供的交流电压的相位设为与各压电元件的位置对应的确定的值，镜部(1)进动。
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公开(公告)号：CN110462485A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201780088680.9
申请日：2017-12-01
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(1)具备镜子(3)和驱动梁(7)。驱动梁(7)具备压电部(12)。在压电部(12)中，利用多个第一槽将压电体(15)划分为多个。形成为：随着接近与锚定件(11)连接的一端侧，压电体(15)的X轴方向上的长度变短，且形成为：随着接近与连杆梁(9)连接的另一端侧，压电体(15)的X轴方向上的长度变短。
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