公开(公告)号：CN107250715B

公开(公告)日：2019-09-17

申请号：CN201580076503.X

申请日：2015-03-27

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 堀淳二 ,  笹井浩之 ,  望月敬太 ,  片冈健司 ,  大岛龙平

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24 ,  G01B11/30 ,  G01N21/892

Abstract: 检测装置具有传感头(2)、存储部(7)、数据处理部(8)、相似度计算部(9)及相位计算部(10)。传感头(2)取得长条体的表面数据。存储部(7)存储第1基准数据及第2基准数据。数据处理部(8)根据表面数据生成处理数据。相似度计算部(9)计算第1相似度及第2相似度。相位计算部(10)计算以第1相似度及第2相似度为要素的相似度矢量的相位。

公开(公告)号：CN107250715A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201580076503.X

申请日：2015-03-27

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 堀淳二 ,  笹井浩之 ,  望月敬太 ,  片冈健司 ,  大岛龙平

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24 ,  G01B11/30 ,  G01N21/892

CPC classification number: G01B11/00 ,  G01B11/24 ,  G01B11/30 ,  G01N21/892

Abstract: 检测装置具有传感头(2)、存储部(7)、数据处理部(8)、相似度计算部(9)及相位计算部(10)。传感头(2)取得长条体的表面数据。存储部(7)存储第1基准数据及第2基准数据。数据处理部(8)根据表面数据生成处理数据。相似度计算部(9)计算第1相似度及第2相似度。相位计算部(10)计算以第1相似度及第2相似度为要素的相似度矢量的相位。