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公开(公告)号:CN1891358A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200610100040.9
申请日:2006-06-27
Applicant: 岛田理化工业株式会社 , 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明涉及一种基板清洗装置及基板清洗方法,能将进行机械切割或研磨处理等后附着在玻璃基板的端面等处的异物有效地除去。在将液体和气体供给到喷嘴、并通过上述喷嘴将混合了上述液体和上述气体的流体喷射到基板上来清洗上述基板的基板清洗装置中,具有对向喷嘴供给的液体进行加热而控制上述液体的温度的液体加热机构,将上述喷嘴入口处的上述液体的温度控制在40~100℃。
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公开(公告)号:CN104641182A
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201380048946.9
申请日:2013-06-28
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: F24F6/04 , B01F3/04007 , B01F2215/0091 , F24F11/0008 , F24F11/30 , F24F2006/046 , F24F2110/10 , F24F2110/20
Abstract: 本发明的加湿器的特征在于,基于第一温湿度传感器(10a)及第二温湿度传感器(10b)的检测值,求出每段预先设定的时间的加湿材料(1)气化的水的量亦即加湿量,在与上次求出的加湿量相比本次求出的加湿量增加的情况下,将每段预先设定的时间的水供给部(3)的水的供给量控制为小于规定值,在与上次求出的加湿量相比本次求出的加湿量减少的情况下或者上次求出的加湿量和本次求出的加湿量相同的情况下,将每段预先设定的时间的水供给部(3)的水的供给量控制为规定值以上。
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公开(公告)号:CN104641182B
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201380048946.9
申请日:2013-06-28
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: F24F6/04 , B01F3/04007 , B01F2215/0091 , F24F11/0008 , F24F11/30 , F24F2006/046 , F24F2110/10 , F24F2110/20
Abstract: 本发明的加湿器的特征在于,基于第一温湿度传感器(10a)及第二温湿度传感器(10b)的检测值,求出每段预先设定的时间的加湿材料(1)气化的水的量亦即加湿量,在与上次求出的加湿量相比本次求出的加湿量增加的情况下,将每段预先设定的时间的水供给部(3)的水的供给量控制为小于规定值,在与上次求出的加湿量相比本次求出的加湿量减少的情况下或者上次求出的加湿量和本次求出的加湿量相同的情况下,将每段预先设定的时间的水供给部(3)的水的供给量控制为规定值以上。
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公开(公告)号:CN117321347B
公开(公告)日:2024-04-16
申请号:CN202180097381.8
申请日:2021-04-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: F24F11/89 , F24F140/30
Abstract: 污染物检测装置具备:被检测部,在存积排水的排水部中相对水平方向倾斜地设置,附着污染物;以及检测部,朝向被检测部照射能量,检测被检测部的污染状态,检测部具有:发送接收单元,照射以及接收能量;运算单元,运算由发送接收单元从被检测部接收到的能量的量;以及识别单元,根据由运算单元运算的能量的量,识别被检测部的污染状态。
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