基板清洗装置及基板清洗方法

    公开(公告)号:CN1891358A

    公开(公告)日:2007-01-10

    申请号:CN200610100040.9

    申请日:2006-06-27

    Abstract: 本发明涉及一种基板清洗装置及基板清洗方法,能将进行机械切割或研磨处理等后附着在玻璃基板的端面等处的异物有效地除去。在将液体和气体供给到喷嘴、并通过上述喷嘴将混合了上述液体和上述气体的流体喷射到基板上来清洗上述基板的基板清洗装置中,具有对向喷嘴供给的液体进行加热而控制上述液体的温度的液体加热机构,将上述喷嘴入口处的上述液体的温度控制在40~100℃。

    空调机
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112272748B

    公开(公告)日:2022-09-13

    申请号:CN201880094540.7

    申请日:2018-06-29

    Abstract: 空调机(100)具备:接受水的排水盘(11)、具有进行超声波的发送和接收的超声波传感器(16)且解析超声波传感器的响应信号并检测在排水盘上生成的污染物(14)的检测部(15),构成排水盘的底部的底部平面部(11a)和构成超声波传感器的接收面(22a)的平面部平行地配置。

    空调机
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112272748A

    公开(公告)日:2021-01-26

    申请号:CN201880094540.7

    申请日:2018-06-29

    Abstract: 空调机(100)具备:接受水的排水盘(11)、具有进行超声波的发送和接收的超声波传感器(16)且解析超声波传感器的响应信号并检测在排水盘上生成的污染物(14)的检测部(15),构成排水盘的底部的底部平面部(11a)和构成超声波传感器的接收面(22a)的平面部平行地配置。

    污染物检测装置以及冷冻循环装置

    公开(公告)号:CN117321347B

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202180097381.8

    申请日:2021-04-28

    Abstract: 污染物检测装置具备:被检测部,在存积排水的排水部中相对水平方向倾斜地设置,附着污染物;以及检测部,朝向被检测部照射能量,检测被检测部的污染状态,检测部具有:发送接收单元,照射以及接收能量;运算单元,运算由发送接收单元从被检测部接收到的能量的量;以及识别单元,根据由运算单元运算的能量的量,识别被检测部的污染状态。

    污染物检测装置以及冷冻循环装置

    公开(公告)号:CN117321347A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202180097381.8

    申请日:2021-04-28

    Abstract: 污染物检测装置具备:被检测部,在存积排水的排水部中相对水平方向倾斜地设置,附着污染物;以及检测部,朝向被检测部照射能量,检测被检测部的污染状态,检测部具有:发送接收单元,照射以及接收能量;运算单元,运算由发送接收单元从被检测部接收到的能量的量;以及识别单元,根据由运算单元运算的能量的量,识别被检测部的污染状态。

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