公开(公告)号：CN111655903A

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN201980010768.8

申请日：2019-01-23

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 藤井智子 ,  池田和彦 ,  深泽隼

IPC: C23F1/14 ,  C23C26/02 ,  C23G1/12

Abstract: 表面处理用水溶液，其用于对合金的表面进行处理，所述表面处理用水溶液含有：铜离子浓度为20000ppm以上且50000ppm以下的铜化合物、浓度为200ppm以上且3000ppm以下的杂环氮化合物、和浓度为2000ppm以上且70000ppm以下的卤化物离子。

公开(公告)号：CN113015823A

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN201980074655.4

申请日：2019-11-19

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 深泽隼 ,  藤井智子 ,  松永裕嗣

IPC: C23F1/18 ,  H01L21/308

Abstract: 本发明涉及抑制镍、锡、金和它们的合金的溶解、且能对铜和铜合金选择性地进行蚀刻的蚀刻液。本发明的蚀刻液的特征在于，其包含：相对于蚀刻液的总质量为5～10.5质量％的(A)过氧化氢；相对于蚀刻液的总质量为0.3～6质量％的(B)硝酸；(C)任选具有取代基的、选自由三唑和四唑组成的组中的1种以上的含氮五元环化合物，所述取代基选自由碳数1～6的烷基、氨基、以及具有选自由碳数1～6的烷基和苯基组成的组中的取代基的取代氨基组成的组中的1种以上；以及(D)(d1)选自由碱金属氢氧化物、氨、胺和铵盐组成的组中的1种以上的pH调节剂、(d2)膦酸化合物或(d3)它们的组合。

公开(公告)号：CN113015823B

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN201980074655.4

申请日：2019-11-19

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 深泽隼 ,  藤井智子 ,  松永裕嗣

IPC: C23F1/18 ,  H01L21/308